高分解能シリンジポンプ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

【半導体製造工程】低脈動／微量／超高分解能シリンジポンプ

極めて精密な流量制御が可能で、脈動が非常に少なくスムーズな液体の流れを実現

半導体製造における「膜厚の均一性」「微量成分の濃度一定化」「ノズル先端の正確な液切れ」のニーズへの最適解！ 低脈動・高再現性のシリンジポンプをぜひご検討ください。 ＝＝＝＝＝　概　要　＝＝＝＝＝ Centris　Pumpは、正確度、信頼性、再現性の高い小型シリンジポンプモジュールです。 シンプルかつ堅牢な機構設計により、メンテナンスがほとんど不要になります。 OEMシリンジポンプの中でも、最少の設置面積。完全RoHS対応です。 ★ Centris Pumpの技術仕様は、カタログをダウンロードしてご覧下さい ★ ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ・長寿命セラミックバルブとセラミックシリンジを採用 　高液温にも対応可能 ・高再現性：0.05%CV以下/FS ・高解像度：181,490ステップ ・プログラム可能な流速　5nl/s〜5ml/s ・コンパクトサイズ（設置スペース 69×45ｍｍ） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。