超高精度・高剛性直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』
1μmの剛性・送り精度・直進性を兼ね備えたアクチュエータ
本製品は、高精度な微小直動送りが必要とされる光学機器のレンズ・ ミラー移動、微小角度調整や半導体製造装置のアライメントステージ X・Y・θ軸調整部などに用いられる直動アクチュエータです。 ガイド部には非開放型ローラ式ガイド「ミリオンガイド」の活用と 独自構造の開発により、サブミクロン単位での超高精度微小送りと 高速送りの両立化を実現。 お客様の要望に合わせてストロークの長短・スケールフィードバック・ モータの変更などのカスタム対応も行っております。 【特徴】 ■小型化 ■高速化 ■超高精度微小送り ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アイセルグループ株式会社
- 価格：応相談
