高照度エキシマUV装置
レンタル専用エキシマUV ・長期貸出可能 15日～1年間以上 ・月額分割払いが可能 ・装置の修理費用は発生致しません。
【レンタルのメリット】 ・装置導入が難しい ・既存の装置が故障した時 ・急遽、エキシマUV装置が必要になった ・保守、メンテナンス、固定資産税、管理コストを抑えたい ・新規装置導入可能：別途ご相談下さい 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【無電極照射ユニット・N2スリッドホルダー構造】 ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能 【主な用途】 ・ガラス、フィルム、ウエハの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング ・チップ、フィルム、基板接合面洗浄
- 企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格：応相談
