高真空度クラス対応形スイッチ『GNシリーズ』
低アウトガス対応の材質・接着剤・コードを採用。高真空環境専用位置決めスイッチ
『GNシリーズ』は、低アウトガス対応部品だけで製造した、 高真空環境専用の位置決めスイッチです。 真空蒸着装置やスパッタリング装置内の、ウェハーやマスクの位置決め 用途で、大手半導体製造装置メーカーに続々と採用されています。 【主な仕様】 ■接点構造：接点形 ■動作形態：A：NO／B：NC ■動作点の繰返し精度：ON⇔OFFとも 0.003mm（レンジ） ■対応真空度／ベーキング許容温度：10-5Pa/120℃ ■動作までの動き：約0.3（A：NO）/なし（B：NC） ■応差：0 ■接点精度寿命：300万回 ■ストローク：1.5mm ■接触力：0.5N ■接点定格：DC5V～DC24V 定常電流10mA以下（突入電流20mA以下） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社メトロール
- 価格：応相談
