高真空金属シール(oリング) - メーカー・企業と製品の一覧

PVD/CVD/エッチング装置用低締付超高真空用金属シール

PVD/CVD/エッチング装置等で、ゴムOリングからメタルへ置換え、超高真空・極高真空を実現します！JIS V溝フランジ用標準化

デルタシール(HNV HELICOFLEX(R)DELTA) には、断面の接触側に2つのデルタ形突起があります。デルタ形突起は、フランジ溝組込時の外被圧縮時につぶれて消えるように設計されており、デルタシールの設計締付圧力はヘリコフレックスシールに比べて低い為、エラストマー製Oリングとの交換が可能になります。漏れ量：*円形の場合10⁻¹²Pa・m³/sec.(10⁻¹¹atm.cm³/sec.) 　　　　*取付側の品質に依存します。又、シール形状により異なります。【特長】 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある ■超高真空が実現する ■優れた弾性を有し、高温で使用可能 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。