高精度セラミック軸受(位置決め) - メーカー・企業と製品の一覧

【半導体製造向け】高精度セラミックス軸受け

高精度 × 高耐久。精密制御を支える軸受け

半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、精密な位置決めや制御が求められます。特に、ウエハ搬送装置や検査装置など、微細な動きが要求される箇所においては、軸受けの精度と耐久性が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素となります。金属軸受けでは、摩耗粉の発生や振動が問題となる場合がありますが、当社の高精度セラミックス軸受けは、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウエハ搬送装置 ・精密検査装置 ・露光装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めと安定した動作を実現 ・摩耗粉の発生を抑制し、製品の信頼性を向上 ・長寿命化により、メンテナンスコストを削減