高精度フィードバックコントローラ(制御) - 企業1社の製品一覧

5nm、10nm高精度フィードバックコントローラ

ボールネジの位置決めで分解能10nmを制御

ストローク20-50mmでピエゾ素子を使わず10nmの分解能を実現

• 企業：ワイヤード株式会社
• 価格：100万円 ~ 500万円

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