高精度フォーカススキャナ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

対物レンズフォーカススキャナ｜重い高NA対物でも高速Z制御を維持

210g負荷時でも560Hzを維持し、共焦点・超解像顕微鏡の高速Zスキャンを安定化

P-726は重い高NA対物レンズを高速・高精度で駆動するPIFOC(R)ハイロードフォーカススキャナです。 フレクシャガイドと静電容量センサを内蔵し、0.3 nmのOpenLoop分解能、0.02 %リニアリティエラーを実現。 共振周波数は無負荷で1120Hz、210 g負荷でも560 Hzを維持し、半導体ウェハ検査や共焦点・超解像顕微鏡のZスキャンを高速化。 QuickLockアダプタでM32／M27など主要スレッドサイズに対応。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。