Excel Precision 高精度6DOFレーザー干渉計
NIST/ISO準拠、最大６軸同時に簡単精密測定できるレーザー干渉計（変位計）
このレーザー干渉計システムでは、光学モジュールの組み合わせにより、単軸から最大６DOF（X、Y、Z、ピッチ、ヨー、ロール）を同時に高精度測定することができます。システムの設置やアライメントはとても簡単です。 また、オプションの環境センサーや屈折率計などで測定用レーザーの波長を補正し、精度をさらに向上させることが可能です。ウエハ・FPDステッパーなどの半導体製造装置、CNCマシンなど工作機械分野や、モーションシステムの変位測定や各国の標準研究機関など、5000件を超える納入実績があり、世界でディファクトスタンダートになっています。
- 企業：オーテックス株式会社
- 価格：応相談
