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高精度光センサ - 企業1社の製品一覧

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小型で安価な高精度光センサ『CHRocodile Mini』

高精度・高速で、安価なシングルポイントセンサ。厚み・距離・高さ測定用に組込み可能なセンサ。半導体ウエハ検査用途にも最適。

『CHRocodile Mini』は、100万円以下の安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度な測定/検査が可能で、nm分解能の距離測定、最大4表面、3層厚みの同時測定もできます。粗面、鏡面、色付き材料など表面の状態に依らず計測ができ、測定レンジの範囲も広いセンサです。 【特長】  ■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応    厚みは(45um)~厚膜(400mm)までカバー。(屈折率1.5の場合)    距離センサとしては、600um 4mm 10mmの3種類の    プローブラインナップ。  ■高分解能( Zはサブミクロン、XYは数um~)  ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、    装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)も用意  ■多業界で豊富な実績    半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野

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  • 距離関連測定器
  • 試験機器・装置
  • 基板検査装置

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