カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC
小ロット・短いサイクルタイムで回せる スパッタリング装置
本装置は大型の製品にスパッタ・重合成膜が可能にもかかわらずハイサイクル稼働を実現したバッチ式の装置です。製品の品質や歩留まりを上げたい生産現 場に貢献します。
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小ロット・短いサイクルタイムで回せる スパッタリング装置
本装置は大型の製品にスパッタ・重合成膜が可能にもかかわらずハイサイクル稼働を実現したバッチ式の装置です。製品の品質や歩留まりを上げたい生産現 場に貢献します。