【特長】 ○業界で最もファインパターン検査が可能 ○濃淡画像によるサブピクセル測長処理により超高分解能を実現 ○配線パターン全面に渡り線幅・線間隔を計測 ○高スループット ○検査中の欠陥切出し画像を出力 ○独自の照明技術によりさまざまな表面状態に柔軟に対応 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧下さい。

• 基板検査装置

◆◆掲載内容◆◆ 【掲載内容】 　○外観検査システムの総合力 　○画像処理技術 　○光学センシング技術 　○メカトロニクス技術 　○運用ノウ八ウ 　○コア技術の進化 ⇒ダウンロードから、一部カタログダイジェストがご覧いただけます。 ●詳細は資料請求からお問い合わせください。

• 画像処理機器