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SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
本機はスピン式のスプレー現像装置で、自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を行います。 一度に数枚のワークを処理できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー（ガリ砒素、ガラス、セラミック）等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
本機はローダーに収納されたマスクを自動的に搬送し、各処理槽を経てアンローダーに収納する装置です。 バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします。 詳しくはお問い合わせ下さい。
ウエハーやマスクガラスの洗浄機で、ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています。 詳しくはお問い合わせ下さい。
本機はレジスト剥離装置になります。 ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送し、各処理工程を経た後、温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥し、アンローダーに払い出す装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい。 詳しくはお問い合わせ下さい。
SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
SFシリーズは、シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。 操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。
SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。 クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置です。 蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。 クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
本機は、ガラス基板やセラミックス基板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。 乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。 チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリーン度を高め、高品質のスピン乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。
SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ジャパンクリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。 全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉自動洗浄装置でウエハ搬送は3軸多関節クリーンロボットと前後搬送の単軸ロボットの組み合わせで構成されています。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 ○カセットの他FOUPも使用できるタイプも有り 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
『自動ウエハレジスト塗布装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布装置です。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、レジストの他、接着剤の塗布、保護膜の塗布等にも使用出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
『自動レジスト塗布現像装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布現像装置です。 装置内にレジスト塗布チヤンバーと現像チヤンバーを設けています。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーも備えています。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
『自動基板用現像装置』は、枚葉式の基板自動現像装置です。 現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれウエハにスプレーし高精度の現像処理を行います。 また現像方式はスプレー式とパドル式の選択が出来ます。 基板搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ジャパンクリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。 全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。 ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な仕様変更にも細かく対応 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な仕様変更にも細かく対応 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 【展示会出展情報】 SEMICON Japan 場所：東京ビッグサイト 期間：2017年12月13日～15日 小間番号：3509 東ホール
2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログを無料配布中です！ デモも随時ご相談受付ておりますので、ぜひお気軽にお問合せ下さい！ ※詳しくはカタログをダウンロードもしくはお問合せ下さい。
『卓上型スピンコーター』は、平滑な基材を高速回転させることで遠心力によって塗膜を生成する装置。主に半導体製造工程で活躍します。 塗布サイズはMAXφ150～MAXφ450（卓上型／インナーカップ方式）をラインアップしています。 また、デモ機の貸出や実際に弊社にてテスト的に厚み測定を行う事も随時受付ております。ご興味有る方はぜひお気軽にお問合せ下さい。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
『MH-100』は、小型で省スペースのラボ用卓上ダイヤモンドワイヤーソーです。 取扱いが容易なシングルワイヤータイプで、研究開発用途に最適です。 また、精密加工技術を生かして素材を薄く高精度に切断するマルチワイヤーソー 「MH1000」もご用意。 ワイヤー駆動2軸、トラバース2軸、ワーク上下1軸の計5軸ACサーボモーターを 使用しており、水晶、セラミック等あらゆる素材を切断できる小形専用機です。 【特長（MH-100）】 ■小型で省スペースのラボ用 ■取扱いが容易なシングルワイヤータイプ ■研究開発用途に最適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
・研究試作に適した価格設定 ・高精度５相マイクロステッピングモータークローズドループ方式を使用したXYテーブルでの自動切断が可能。X軸は回転機構付。 ・一定の応力での切断 高精度位置センサーでワイヤーのたわみを探知し、ステッピングモーターにフィードバックをかけて移動速度を制御することにより一定の応力での自動切断が可能。 ・ シンプル設計、タッチパネルによる簡単操作。
本装置は、精密加工技術を生かして素材を薄く高精度に切断する装置です。ワイヤー駆動２軸、トラバース２軸、ワーク上下１軸の計5軸ACサーボモーターを使用しており、水晶、セラミック等さまざまな素材を切断できる小形専用機です。
『CO2スプレー洗浄装置』は、真空環境での洗浄のため低露点環境で CO2洗浄ができます。 当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズルを使用。 個体CO2粒子速度と粒子密度の可変ができ、好適な洗浄条件を提案可能です。 マイクロレンズ上のパーティクル除去やスパッタ残渣除去、濡れ性改善に ご利用いただけます。 【特長】 ■当社独自ノズル：CO2ラバージェットノズル使用 ■真空環境での洗浄 ■ダメージレスドライ洗浄が可能 ■基板サイズは最大φ12インチ ■ハンディータイプのスプレーユニット販売可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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