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ピエゾステージ PK 開口付きタイプ
超精密位置決めピエゾステージです。最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです。PK 開口付きタイプは、顕微鏡との組み合わせや光透過型デバイスに最適です。