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株式会社IBS  本社(大阪工場/大阪支店)、東京支店、中部支店

設立2003年2月20日
資本金9500万
従業員数79名
住所大阪府吹田市穂波町12-43
電話06-6155-6816
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最終更新日:2025/10/09
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メタルベローズポンプ メタルベローズポンプ
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リリーフバルブ(逃し弁) リリーフバルブ(逃し弁)
チェックバルブ(逆止弁) チェックバルブ(逆止弁)
エジェクター(インジェクター) エジェクター(インジェクター)
流量制御機器 流量制御機器
流量計測機器 流量計測機器
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PSA酸素ガス発生装置『ITOKシリーズ』

カラータッチパネルディスプレイでの簡単操作・総合制御はそのままにPLCによるシーケンス制御で従来機より多機能に進化。

『ITOKシリーズ』は、カラータッチパネルディスプレイでの簡単操作・ 総合制御はそのままにPLCによるシーケンス制御で従来機より多機能に 進化したPSA酸素ガス発生装置です。 パッケージタイプで内部排気部に消音BOXを設ける事により排気時の 騒音を最低限に抑えました。 また、パッケージタイプのPSAとして最小クラスです。 【特長】 ■小型 ■タッチパネル操作 ■純度90%以上 ■発生量0.8~12Nm3/h ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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PSA酸素ガス発生装置『ITOK屋外シリーズ』

エアー源があれば多用途に使用可能!防滴構造で屋外設置対応の酸素ガス発生装置

『ITOK屋外シリーズ』は、小型タッチパネル操作屋外仕様の 酸素ガス発生装置です。 カラータッチパネルディスプレイでの簡単操作・総合制御はそのままに PLCによるシーケンス制御で従来機より多機能に進化。 パッケージタイプで内部排気部に消音BOXを設ける事により排気時の 騒音を最低限に抑えました。 【特長】 ■防滴構造で屋外設置可能 ■エアー源があれば多用途に使用可能 ■3.5型 QVGA高精細表示タッチパネル採用 ■低騒音設計 ■第二種圧力容器の適用範囲外 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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PSA酸素ガス発生装置『ITOZ屋外シリーズ』

高吐出圧力、エアータンク内蔵!ITOZシリーズの屋外設置タイプシリーズです

『ITOZ屋外シリーズ』は、O2ガスの使用量に応じて子機の運転台数を制御可能な PSA酸素ガス発生装置です。原料エアーの消費量を減らすことでCP消費電力を削減し、 大きな省エネ効果とCO2排出量削減効果が得られます。 従来の2塔式PSAは2つの吸着塔が交互に吸脱着を行うため、O2ガス発生は間欠的でした。 台数制御PSAは組み合わせた子機との吸脱着タイミングをずらし、連続的に近い O2ガス発生を実現しています。 これにより、O2バッファタンク内圧力が一定に保たれ、0.3~0.35MPaの 高吐出圧力を実現しました。 また、原料空気は親機に内蔵されたエアータンクから順次供給されるため、発生量が増えても タンク容量を増やすことなくコンプレッサーを保護することができ、インバーター式コンプレッサーと 組み合わせても別にタンクを設ける必要がなく省エネと省スペース化が可能です。 【特長】 ■屋外設置タイプ ■高吐出圧力 ■タッチパネル操作 ■純度90% ■発生量9~60Nm3/h ■省エネ運転機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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メンブレン式窒素ガス発生器『N2-DT604シリーズ』

高価・危険・不便な窒素ボンベが不要!圧縮AIRを供給するだけで簡単に使用可能

『N2-DT604シリーズ』は、窒素ガスの発生に独自のメンブレン(膜分離技術)を 採用している窒素ガス発生器です。 電源および高価・危険・不便な窒素ボンベが不要で圧縮AIRを 供給するだけで簡単にご使用になれます。 窒素ガス発生装置内部には、中空糸を束ねたメンブレンモジュールと呼ばれる 分離膜が内包されています。その中空糸内を圧縮空気が通過する事によって ガスの分離を行い、窒素ガスを発生(他ガスと分離)させます。 ガスの分離はガスの分離速度の差に依存し、窒素濃度は圧縮空気の供給圧に 依存する事を利用し容易に高い濃度の窒素ガスを得る事ができます。 【特長】 ■窒素ガスの発生には独自の膜分離技術を採用 ■メンブレン方式につき摺動稼働部品がない ■高価・危険・不便な窒素ボンベが不要 ■電源が不要 ■コンパクト設計及び軽量、設置も簡単で貴重なフロアスペースの節約に ■多目的な用途に利用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<汎用型>チェックバルブ(逆止弁)『CM[M]シリーズ』

調芯バルブ採用!耐久性、信頼性を向上した逆流防止弁

『CM[M]シリーズ』は、安定作動を追求した汎用型の逆流防止弁です。 調芯機能(センターリング)により、チャタリングを抑制し 繰返し耐久性、信頼性を向上しました。 さらに、Oリングシールとメタルタッチ方式を採用し安定したシールを持続。 豊富なシール材質をラインアップしています。 【特長】 ■チェックバルブ(逆止弁・チェック弁) ■耐久性、信頼性を向上 ■安定したシールを持続 ■豊富なシール材質をラインアップ ■ニッケルメッキを標準採用し耐食性を向上(黄銅品) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<汎用型>チェックバルブ(逆止弁)『CFシリーズ』

シール材への負荷を軽減!低価格を実現した汎用型の逆流防止弁

CFシリーズは、気体、液体、特殊流体まで実績豊富な 汎用型の逆流防止弁です。 Oリングとメタルシールでのダブルタッチ方式により、 シール材への負荷を軽減。 シンプル構造により、低価格を実現。豊富な口径・シール材を ラインアップしております。 【特長】 ■チェックバルブ(逆止弁・チェック弁・チャッキ弁) ■シンプル構造により、低価格を実現 ■ダブルタッチ方式によりシール材への負荷を軽減 ■豊富な口径・シール材ラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<高圧型>チェックバルブ(逆止弁)『CHシリーズ』

シール材への負荷を軽減!高圧対応ながら小型設計の逆流防止弁

『CHシリーズ』は、二次側の圧力が一次側の圧力より高くなった際に 流体の逆流を防止する逆流防止弁です。 SUS316仕様は、13MPaまで使用可能な高圧対応。 ダブルタッチ方式(Oリング+メタルタッチ)により、シール材への負荷を 軽減した設計となっております。 【特長】 ■チェックバルブ(逆止弁・チェック弁・チャッキ弁) ■高圧対応 ■ダブルタッチ方式によりシール材への負荷を軽減 ■ステンレスタイプの金属材質はすべてSUS316を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<大流量型>チェックバルブ(逆止弁)『HVCシリーズ』

調芯バルブ採用!耐久性、信頼性を向上した逆流防止弁

『HVCシリーズ』は、大流量で高圧に対応する逆流防止弁です。 シール材への負荷を軽減した設計のほか、取付方向が自在なチャッキ弁です。 豊富な口径、シール材をラインアップ。 新構造採用により、大流量化を実現しました。(フルボア設計) 【特長】 ■チェックバルブ(逆止弁・チェック弁) ■大流量化を実現 ■シール材への負荷を軽減した設計 ■豊富な口径、シール材ラインアップ ■取付方向自在 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<フッ素樹脂製>チェックバルブ(逆止弁)『C5シリーズ』

スプリングを含む接液部はフッ素樹脂を採用し幅広い薬品に対応可能!

『C5シリーズ』は、特殊なフッ素樹脂製スプリングを採用した逆流防止弁です。 接液する樹脂は、すべてフッ素樹脂を採用した設計。 各種シール材を選定することで、薬液や溶剤、腐食性流体等 幅広い流体で使用可能です。 【特長】 ■チェックバルブ(逆止弁・チェック弁・チャッキ弁) ■接液する樹脂はすべてフッ素樹脂を採用した設計 ■特殊なフッ素樹脂製スプリングを採用 ■薬液や溶剤、腐食性流体等幅広い流体で使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<クラッキング圧力調整型>チェックバルブ『CAMシリーズ』

各種スプリングにより0.02~4.1MPaまで設定可能な逆流防止弁!

『CAMシリーズ』は、クラッキング圧力の任意調整が可能な逆流防止弁です。 試作機、研究等の少量用途に適したチャッキ弁です。 高圧対応(最高使用圧力:20MPa)のほか、小型で軽量設計となっております。 【特長】 ■チェックバルブ(逆止弁・チェック弁) ■クラッキング圧力の任意調整が可能 ■高圧対応(最高使用圧力:20MPa) ■試作機、研究等の少量用途におすすめ ■小型、軽量設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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チェックバルブ(逆止弁)『C8シリーズ』

エンプラであるポリアセタールを採用!水等の液体用途向に

『C8シリーズ』は、樹脂製のため軽量な逆流防止弁です。 配管取付姿勢が自在。 水道水の他、各種液体も対応可能な、低クラッキング仕様となっております。 【特長】 ■チェックバルブ(逆止弁・チェック弁・チャッキ弁) ■樹脂製のため軽量 ■水道水の他、各種液体も対応可能 ■配管取付姿勢は自在 ■低クラッキング仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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チェックバルブ(逆止弁)『CCシリーズ』

カートリッジ式の為、水回り製品及び小型機器への組込に適した逆流防止弁!

『CCシリーズ』は、カートリッジ式で小型機器への組込に適した逆流防止弁です。 樹脂製(スプリングSUS)のため軽量、安価なチャッキ弁。 水道水の他、各種液体も対応可能な、低クラッキング仕様となっております。 【特長】 ■チェックバルブ(逆止弁・チェック弁) ■カートリッジ式の為、小型機器への組込におすすめ ■樹脂製のため軽量、安価 ■水道水の他、各種液体も対応可能 ■低クラッキング仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<樹脂PP製>チェックバルブ(逆止弁)『CPシリーズ』

ポリプロピレンを採用!水などの液体用途の他インク等でも使用可能

『CPシリーズ』は、PP(ポリプロピレン)を採用した逆流防止弁です。 フッ素ゴムを標準採用。 本体材質はPPを採用しているため耐食性に優れます。 スプリング方式を採用し、安定したシール性能を実現しました。 【特長】 ■チェックバルブ(逆止弁・チェック弁・チャッキ弁) ■樹脂製のため小型軽量、安価 ■本体材質はPPを採用しているため耐食性に優れる ■スプリング方式を採用し安定したシール性能を実現 ■フッ素ゴムを標準採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<フッ素樹脂PFA製>チェックバルブ(逆止弁)『CDシリーズ』

スプリングを含む接液部はフッ素樹脂を採用し幅広い薬品に対応可能!

『CDシリーズ』は、フッ素樹脂製の特殊スプリングを採用した逆流防止弁です。 接液する樹脂はPFA及びPTFEで構成。 チューブ出しにつき、継手仕様を選びません。 耐薬品性が求められる用途におすすめです。 【特長】 ■チェックバルブ(逆止弁・チェック弁・チャッキ弁) ■接液する樹脂はPFA及びPTFEで構成 ■チューブ出しにつき、継手仕様を選ばない ■フッ素樹脂製の特殊スプリングを採用 ■耐薬品性が求められる用途におすすめ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<低圧大気開放型・逃し弁> リリーフバルブ『RAシリーズ』

低圧回路の圧力制御用に好適!大気開放型のため空気・不活性ガス・その他気体に

『RAシリーズ』は、配管内の圧力が設定圧力以上になると、 大気に圧力を逃がす小型の圧力制御弁です。 低圧、大気開放で使用する機器に好適です。 【特長】 ■大気開放型 ■高精度なクラッキング性能、高シール性 ■豊富な口径ラインアップ ■小型、軽量 ■工場にてクラッキング圧力をセットし出荷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<低圧インライン型・逃し弁> リリーフバルブ『RLシリーズ』

低圧回路の圧力制御用に好適!インライン型のため液体にも使用可能です。

『RLシリーズ』は、配管内の圧力が設定圧力以上になると、一次側から 二次側に圧力を逃がす小型の圧力制御弁です。 低圧、インライン(二次側を配管可能)で使用する機器に好適です。 【特長】 ■インライン型(外部に漏れ無し) ■高精度なクラッキング性能、高シール性 ■豊富な口径ラインアップ ■小型、軽量 ■工場にてクラッキング圧力をセットし出荷 ■パーフロシールにも対応でき、有機溶剤や腐食性ガスでも使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<高圧用大気開放型・逃し弁>リリーフバルブRHAシリーズ

小型軽量ながらも高圧対応の大気開放型リリーフバルブです。 クラッキング圧力1.0MPa~4.2MPaまで対応可能です。

配管内の圧力が設定圧力以上になると、大気に圧力を逃がす 小型の圧力制御弁です。RHAシリーズは小型高圧装置に最適です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<高圧用インライン型>リリーフバルブ『RHLシリーズ』

小型軽量ながらも高圧対応のインライン型リリーフバルブです。 クラッキング圧力1.0MPa~4.2MPaまで対応可能です。

配管内の圧力が設定圧力以上になると、一次側から二次側に圧力を逃がす小型の圧力制御弁です。 RHLシリーズは小型高圧装置に最適です。 ■高圧対応(最高クラッキング圧力:4.2MPa) ■出口側を配管する事により、リリーフ後の排液/排ガスの回収に最適 ■工場にてご指定のクラッキング圧力に調整し出荷 ■シール材質を選定する事により腐食性流体でも使用可能

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<外部クラッキング圧力調整型>リリーフバルブ『RM1シリーズ』

外部からクラッキング圧力の任意調整が可能なリリーフバルブです!液体対応可能です。ポンプの圧力制御用途に最適です。

配管内の圧力が設定圧力以上になると、一次側から二次側に圧力を逃がす小型の圧力制御弁です。 オプションの手動開放機構を取り付けることにより、手動で強制開放(リリーフ)することも可能です。 ■特殊パッキンにより弁の発振を抑制 ■ステンレス仕様の本体は耐食性に優れるSCS14(SUS316相当)を採用 ■外部からクラッキング圧力の任意調整が可能(工場出荷時、圧力調整済) ■液体対応・インラインタイプ・大流量仕様(当社製品比較) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<外部クラッキング圧力調整型>リリーフバルブ『RM2シリーズ』

小形設計で大流量仕様。EPDM・カルレッツのシール材ラインナップで、薬液・溶剤にも幅広く対応!

IBSの『RM2シリーズ』は配管内の圧力が設定圧力以上になると、1 次側から2 次側に圧力を逃がす小型の圧力制御弁です。選定条件により薬液や溶剤、腐食性流体でも使用可能です。 【特長】 ■RM1シリーズよりも外部リークのリスクを低減した設計 ■シール材質EPDM、カルレッツもラインナップし薬液や溶剤、腐食性流体等で使用可能 ■外部からクラッキング圧力の任意調整が可能(工場出荷時、圧力調整済) ■大流量仕様(当社製品比較) ※詳細につきましては、お問合せかPDFをダウンロード下さい。

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<フッ素樹脂PFA製> リリーフバルブ『RDシリーズ』

外部からクラッキング圧力の任意調整可能!耐食、耐薬品性に優れたリリーフバルブ

『RDシリーズ』は、配管内の圧力が設定圧力以上になると、一次側から二次側に圧力を逃がす圧力制御弁です。 フッ素樹脂PFAをボディに採用し、薬液や溶剤、腐食性流体でも使用可能です。 チューブ出しにつき継手仕様を選びません。 【特長】 ■クラッキング圧力は簡単に任意調整可能 ■チューブ出しにつき、継手仕様を選びません ■ベローズ方式及びシール材質パーフロを採用し、耐食、耐薬品性を考慮した設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<ディフレクターキャップ型・逃し弁>リリーフバルブ RCシリーズ

低圧回路の圧力制御用に最適です。ディフレクターキャップにより リリーフ時の吹き出し方向を制限できます。大気開放仕様となります。

配管内の圧力が設定圧力以上になると、大気に圧力を逃がす小型の圧力制御弁です。 RCシリーズは低圧、大気開放で使用する機器に最適です。 またディフレクターキャップにより屋外等の曝露使用環境においてバルブ内部への異物侵入を防止します。 ■ディフレクターキャップによりリリーフ時の吹出し方向を制限 ■屋外等の曝露使用環境においてバルブ内部へ異物侵入を防止 ■高精度なクラッキング性能、高シール性を実現 ■工場にてクラッキング圧力をセットし出荷 

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<精密型>ニードルバルブ『FMNV1シリーズ』

液体でも使用可能!無回転のニードル構造を採用した精密ニードルバルブ

『FMNV1シリーズ』は、無回転のニードル構造を採用したマイクロニードルバルブです。 スムーズなニードル動作により再現性に優れ、回転数に対しリニアな流量特性が得られます。 また、ニードル回転数も多く、豊富なニードルレンジ/シール材ラインアップで 各種流体の流量調整をはじめ、微少流量やシビアな流量調整が必要な用途に適しています。 【特長】 ■ニードル部を無回転構造にする事により、スムーズに精密な流量制御が可能 ■豊富なニードルラインナップの中から、ご使用条件にあったニードルの選定が可能 ■2種の本体形状の中から、配管条件にあった形状を選択可能 ■豊富なシール材質をラインナップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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<マルチダイヤル付き精密型>ニードルバルブ『FMNV2シリーズ』

精密型!パネルマウント取付にも対応のマルチダイヤル付ニードルバルブ

『FMNV2シリーズ』は、無回転のニードル構造を採用した精密ニードルバルブです。 マルチダイヤル表示付でニードル回転数を常に表示するため、よりシビアな開度(流量)調整が 誰でも簡単におこなうことが可能となります。 パネルマウント取付にも対応し、取り付けも容易です。 【特長】 ■FMNV1のニードル機能をそのままに、回転数をマルチダイヤル表示で付加した製品で、  誰でも簡単確実に流量管理が可能 ■マルチダイヤルはロックレバー付でワンタッチでロック可能 ■パネルマウント取付にも対応し、取付も容易 ■FMNV1と同様に使用流体に合わせて豊富なニードルレンジ、シール材質が選定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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流体混合器『樹脂製エジェクター(インジェクター)』

ガス混合装置・水処理装置・理化学機器・農業・医療・研究ラボなどに

『樹脂製エジェクター(インジェクター)』は、ボディ材質に 耐食性に優れるPP及びPVDFを採用した流体混合器です。 樹脂製につき軽量、ローコスト。異流体のミキシング用途でも ご使用いただけます。 【特長】 ■樹脂製につき軽量、ローコスト ■ボディ材質は耐食性に優れるPP及びPVDFを採用 ■80種以上のモデルをラインアップ ■異流体のミキシング用途でも使用可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 特殊ポンプ

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超高純度水素ガス発生装置『H2PDシリーズ』

アルカリ電解液仕様!実験台に直接置けるベンチトップ型の超高純度水素ガス発生装置

『H2PDシリーズ』は、アルカリ電解液仕様の超高純度水素ガス発生装置です。 ガスクロマトグラフィーのキャリアガスにも使用可能です。 また、装置内部での貯蔵水素ガスはどの圧力でも50cc以下。 ユーザー様でも自己メンテナンス(電解液交換)が可能です。 分析業界向けガス発生装置グローバル市場での圧倒的な信頼と 実績がございます。 【特長】 ■純度99.99999%以上、圧力0.4MPa ■最大ガス流量は150cc/min、300cc/minの2機種ラインアップ ■電解セルにパラジウムを使用 ■ピュアでドライな水素ガスを発生させることができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ガス発生装置
  • 分析機器・装置

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高純度水素ガス発生装置『H2PEMシリーズ』

ボンベ不要!省スペース設計で設置場所を選びません。

『H2PEMシリーズ』は、FIDに好適な燃焼ガスを最大14台分 供給可能な高純度水素ガス発生装置です。 先進的な純粋管理システムと制御回路により長時間の動作が可能。 運転状況を照明の色で表示、水位の確認・動作状況を簡単に確認できます。 その他、ガスクロマトグラフィーのキャリアガスにも使用可能な 「H2PDシリーズ」と「H2シリーズ」もご用意しています。 【特長】 ■FIDに好適な燃焼ガスを最大14台分供給可能 ■USB接続により作動状況のモニタリング及びリモートコントロールが可能(オプション) ■研究用としてCSA/UL/cUL/CEマーク認定 ■コンパクトでベンチ上の所要面積はわずか0.09m2 ■電解液は不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer

包括的な通信・制御!コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ

『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。 当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに 高い再現性を誇ります。 優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが 向上します。 【特長】 ■マルチガス・マルチレンジ ■高速応答性 ■100%メタルシール・高純度設計 ■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』

標準のコネクタと寸法を確保!経済性に優れた高精度ラバーシールモデル

『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいて フィールドで活躍するマスフローコントローラです。 高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により 経済性を向上しています。 また、高速応答性で、設定値入力後2秒未満で流量が安定します。 【特長】 ■エラストマー(ゴム)シール ■VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ■10sccm〜200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ■1.0x10-7Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 

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マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

設定値入力後1秒未満で流量安定!高精度・高信頼のメタルシールモデル!

『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、 優れた制御性を発揮します。 【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マスフローコントローラ『Aera PI-980』

次世代PI技術!圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ

『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産歩留まりを改善します。 また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも 対応します。 【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ(圧力の影響を受けにくい)制御が可能 ■高い計測精度と再現性 ■IGS方式対応 ■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ■フィールドでのプログラムが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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デジタルマスフローコントローラ『Aera FC-DR980』

優れた性能、運用汎用性、簡単な操作性を兼ね備え、大幅なコスト削減に寄与します

『Aera FC-DR980』は、優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する デジタルマスフローコントローラです。 高品質の電子部品と耐久性に富む設計により、過酷な操作に耐え、1年以上 経過してもフルスケール流量の0.5%以下という優れた長期的ゼロドリフト 安定性を発揮します。 【特長】 ■アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択可能 ■ピエゾ制御バルブ ■各種のアラーム/診断機能 ■使用ガスおよび流量レンジの選択可能  ※マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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