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半導体製造装置FDCソフトウェア
FDC(Fault Detection and Classification)機能と強力な解析ツール、およびインフィコン製センサーを統合し、半導体装置の状態やプロセスを効率よく 分析することができる「FabGuard IPM (Integrated Process Monitoring)」 などを取り扱っております。