製造・加工受託

丸菱実業株式会社

住所神奈川県厚木市戸室1-4-13-3F
電話046-259-9745
最終更新日：
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真空フランジ・真空配管部品 真空フランジ・真空配管部品
真空部品 真空部品
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TMP排気ユニット TMP排気ユニット
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真空計・分析計 真空計・分析計
バルブ バルブ
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真空装置 真空装置
TMP排気ユニット

TMP排気ユニット

ターボ分子ポンプ及び粗引きポンプをコンパクトにまとめた高真空排気ユニットです。

ターボ排気システム　TPS-compact

【主な特長】 ○排気速度 →46-380L/sec ○オイルフリー →粗引ポンプにＩＤＰ-3を採用 ○Ｖ81またはＶ301を搭載 ○ＲＳ232、Ｉ/Ｏインターフェイス標準装備 ○高真空真空計ドライブカード標準装備 ○圧力表示 →大型ディスプレイ ○ボタンひとつで操作可能 ○ＫＦ、ＩＳＯ、ＣＦＦフランジのセレクト可能 ○パーティクル逆拡散防止用のアイソレーションバルブ付 【その他の特長】 ○電圧仕様 →100Ｖ、110Ｖ、220Ｖ ○電源プラグ →３種：ＥＵ、ＵＫ、ＵＳＡ仕様 ○冷陰極型真空計又はフルレンジゲージ（オプション） ○モバイル用のキャスター（オプション） ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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