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高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタです。
ULVAC TECHNO suspika表面処理を施した超高真空部品を、弊社独自のノウハウでさらにプリベーク処理を行った後ヘリウムリーク検査を行いデータ取得後必要に応じ不活性ガス置換真空パック包装で出荷いたします。
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