産業用機械

大宮工業株式会社

従業員数220名
住所岡山県笠岡市みの越1番地
電話0865-60-0038
最終更新日：
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Myself-1 typeT Myself-1 typeT
Myself-1 FAB （自動バランサー） Myself-1 FAB （自動バランサー）
振動モニター 振動モニター
釣合い試験機 バランスチェッカー 釣合い試験機 バランスチェッカー
バランス修正装置 バランス修正装置
スピンドライヤー スピンドライヤー
ウエハ移載機 ウエハ移載機
テープマウンター テープマウンター
テープ剥がし機 テープ剥がし機
UV照射機 UV照射機
ダイシングフレーム洗浄装置 ダイシングフレーム洗浄装置
キャリア洗浄機 キャリア洗浄機
ガラス基板非接触歪み反り測定器 ガラス基板非接触歪み反り測定器
改造・メンテナンス 改造・メンテナンス
設計・製作 設計・製作
バランス修正 バランス修正
精密洗浄 精密洗浄
スピンドライヤー

スピンドライヤー

スピンドライヤーとは、回転による遠心力と吸引される気流の作用によりウエハ上の 水滴及び水分を乾燥させる装置です。大宮工業のバランシング技術とワークの乾燥効率を 最も高めた気流制御により、繊細なワークもクリーンに安全に乾燥させる事ができます。

公転式スピンドライヤー

回転による遠心力と吸引される気流の作用により、ウエハ上の水滴及び水分を乾燥させる装置です。 自動バランス修正装置の追加によりウエハセット枚数に関わらず安定した回転を実現。

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自転式スピンドライヤー

試作・少ロット生産ラインなどに最適な自転式スピンドライヤー、OKVシリーズです。 従来のN2置換方式とは異なり、前面扉より環境エアーを取り込む遠心力＋吸収エアー乾燥方式を採用しました。

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