【その他掲載内容】 ■設計システム ■検査定盤・修理＆検定カーリング ■特長・会社概要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加工受託
• 製造受託
• その他受託サービス

【仕様】 ■種別：精密ポーラスチャック ■平面度：0.005mm ■質量：約0.7kg ■主要材料：多孔質セラミックス／グラナイト ■気孔径：2μm、15μm ※本製品は受注生産です。真空ポンプは別途ご用意下さい。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他加工機械
• 製造受託

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• その他機械要素

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• 旋盤
• その他工作機械

【加工例】 ■金属加工例　炭素鋼（S55C）の超平面加工検証 ・平面度：1.1μm ・サイズ：2388×1440mm ・測定器：水準器 ■グラナイト加工例　石定盤加工検証 ・加工精度：JIS00級以下 ・平面度：5.61μm ・サイズ：3000×2000×500mm ・測定器：水準器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加工受託
• その他加工機械
• ウエハ加工/研磨装置

【装置仕様（抜粋）】 ■使用環境：温度 23±1℃、湿度 RH40～60% ■ステージサイズ：W2200mm×D2400mm×H1844mm ■ステージ重量：約3500kg ■構造：サーフェイス型テーブル移動タイプ 　材質：グラナイト（石材）、CFRP ■真直度（水平）：XY軸 1μm以下 ■真直度（垂直）：XY軸 1μm以下 ※デモ機の準備が御座います。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他加工機械
• その他計測・記録・測定器

【装置仕様（抜粋）】 ＜XYステージ＞ ■X軸／Y軸 ・ストローク：400mm ・ガイド：グラナイトエアスライタ ・リニアモータ：推力100N／推力200N ・リニアスケール：ABSシリアル(Endat2.2) 分解能 5nm ・ドライバ：アナログ2相電流制御 ■Z軸 ・ストローク：50mm ・モータ：ステッピングモータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他加工機械
• その他計測・記録・測定器

【装置仕様】 ■ストローク：300mm ■最高速度：500mm/sec ■加速度：1mm/sec2 ■分解能：0.1μm ■真直度：0.5μm ■ピッチング：1秒以下 ■ヨーイング：1秒以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他加工機械

【装置仕様（抜粋）】 ■使用環境：温度 23±1℃、湿度 RH40～60% ■ステージサイズ：W430mm×D314mm×H120mm ■ステージ重量：15kg ■構造：テーブル移動タイプ、材質 グラナイト及び金属 ■直動システム：XY オリフィス式エアスライドガイド ■モータ温度上昇限界：10℃以下 ■速度ムラ：100mm/secで±1%以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他加工機械

【グラナイトの特長】 ■経年変化がほとんどない ■耐食性に優れている ■キズがついてもまくれができない ■非磁性体 ■維持費が安価 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他工作機械

【特長】 ＜精密チャックテーブル＞ ■中央にθ軸を設ける事により、ワークを回転・吸着固定といった工程が、 　高精度に行える ＜精密ポーラスチャック＞ ■部分吸着性能により、テーブルよりも小さいワークも吸着固定できる ■ワークがフィルムや薄膜ガラスであっても反り・撓みが発生しない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置
• その他加工機械
• その他搬送機械

【グラナイトの特長】 ■経年変化がほとんどない ■耐食性に優れている ■キズがついてもまくれができない ■非磁性体 ■維持費が安価 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 旋盤
• その他工作機械

【グラナイトの特長】 ■セラミック製と比較して低価格で提供可能 ■経年変化がほとんどない ■耐食性に優れている ■キズがついてもまくれができない ■非磁性体 ■維持費が安価 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 旋盤
• その他工作機械