東京ビッグサイトにて開催される「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2020」に出展します。 日立ハイテク展示ブースへのご来場をお待ちしております。 当日は光焼成装置を実機実演展示します。 ■会期情報 開催日：2020年1月29日（水）～　2020年1月31日（金）　10:00～17:00 会場：〒135-0063　東京都江東区有明3-11-1　東京ビッグサイト 小間番号：西２ホール　NO.２WーT０６ ■出展製品情報 新製品　R&D用イオンミリング装置　等を出展します。 ・1チャンバーでスパッタ・熱蒸着EBの成膜が可能なR&D用PVD装置 ・光焼成により下地ダメージレスで焼結が可能　特殊ポーリング装置で圧電膜の分極が可能 ・新型イオンミリング装置（R&D向けに特化） ​ 是非、ブースまでお越しください！