チューブ外径サイズ：1/16から２インチまで、また2mmから50mmまで ゲージによる締め付け確認が可能 再取り付けも簡単 各種材質やネジ規格が御座います

• 管継手

ホースカラーはブルー、ブラック、グリーン、グレー、レッド、イエロー サイズは1/4～3/4インチ エンドコネクションはSUS製、真鍮製

• その他半導体製造装置

アプリケーション概要、流体、温度、圧力、流量などの条件および簡単なフロー図を教えて頂ければCASY図面を作成し必要な部品での取り付けにて供給が可能です。

• その他半導体製造装置
• 加工受託

脈動を起こさない。安定した圧力での薬液吐出を行う。薬液の途切れがない。スラリーデリバリーにも最適。 薬液の近くに電気的な接続不要。パーティクルの発生を削減。薬液内に駆動部分が無い。長期間の安定性。

• その他半導体製造装置
• 加工受託

オープンボール構造により、流体の停滞と溜まりをなくす自己排出デザイン。バルブからのパーティクル発生を最小化。改良された流動体力学による圧力降下を少なくし、低い上流圧に対応。 1/4〜1-1/4の豊富なサイズ。手動バルブ及び集積マニホールドでの供給対応。

• その他半導体製造装置
• 加工受託

小形４ポート３位置　直動形電磁弁 真空吸着、真空破壊制御に最適 応答時間　２ms 作動回数　５億回超 禁油仕様標準、安定作動、異物トラブル防止 真空・正圧の両用可能、大流量、インターロック回路標準

• レジスト装置
• 蒸着装置
• 基板加工機

磁性流体シールは磁場に流体が反応することにより駆動部から発生するコンタミなどのクリーンエリアへの浸入を阻止します。従来品より同性能にて大幅なコストダウンを可能とします。

• CVD装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

ＶＳＯシリーズ 使用圧力　−90Kpa〜1.0Mpaまで対応可能。 １億回の寿命と0.2cm3/minのリーク量。 正確な流量コントロール。 酸素使用可能。 ＭＤ　ＰＲＯシリーズ １０００万回の寿命と0.22cm3/minのリーク量。 使用圧力ー90Kpa〜0.7Mpaまで対応可能。 酸素使用可能。 消費電力最大２Ｗ。

• 半導体検査/試験装置
• ガス発生装置
• 分析機器・装置

液体、ガス分析でのアプリケーション ９シリーズ（高温・高圧）200℃、応答速度２ms、圧力8.6Mpa、リーク量１×10-7cc/sec/atm Helium ９９シリーズ（超高真空）　応答速度５ms、オリフィス50μ〜2.9mm、リーク量１×１０-8以下

• 分析機器・装置
• バルブ
• その他

SUPERLOKキー付きボールバルブやニードルバルブはハンドルの誤操作を防ぐために、キーロックが付いています。ボールバルブやニードルバルブといった様々なラインに使用されるバルブと各種接続サイズの供給が可能です。

• 酸化/拡散装置
• 流量制御
• バルブ

コンパクトなデザイン 防爆指令対応（ATEX Zone2） 保護等級NEMA4（IP67）を備え、ケースサイドから出来る 優れたEMC対応品、優れた温度補正

• CVD装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

ParkerSMU-1は他のメーカーミキシング製品と比較し、全体的に非常にコンパクト。１００％超高純度PTFE材料による構成。駆動部分を持たないため、長寿命を実現。 お客様のニューズに合わせてマニホールド化の対応も可能です。

• ミキサー・攪拌器
• その他半導体製造装置

パロフローウルトラ材料は超高温耐熱での安定性、耐薬品性にすぐれており、超高純度が必要な操作環境用途に合致します。高性能なパーフロロエラストマーです。

• CVD装置
• 蒸着装置
• その他環境分析機器

全てFDA認定品の材質で薬液などに最適。軽量。バリなどの不純物が混入しない構造。 1/4〜1/2サイズ。ボデイ材質はアセタール、ポリプロピレン、Kynar。　O-Ring材質はニトリルゴム、EPDM、Viton。

• CVD装置
• その他環境分析機器
• 水処理装置

環境法規などへの簡単な準拠方法 高価な触媒購入、交換などの工数の削減 経済的な回路により最低量の窒素消費量 コンパクトな設計と簡単な設置と操作性 簡単なスタートアップとノーメンテナンス

• その他環境分析機器
• ガス回収/処理装置
• その他セキュリティ・監視システム