プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。 当社は、単なるシステムおよびコンポネントのサプライヤーではなく、 お客様の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。 基礎段階からご相談に応じ、お客様と共にお客様の要望ならびに目的を 的確にコンサルトします。 これによって、お客様の用途に適切なソリューションを提供することができます。 【事業内容】 ■レーザーマテリアル加工 ■光学測定技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 光学測定器
• レーザ部品

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。ドープウエハ対応。 　■高分解能（サブミクロン 最小1nm） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他計測・記録・測定器
• センサ

プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。 高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの 厚み測定・検査などに使用されています。 不純物/ドープウエハの測定も可能です。 その他の特長は、幅広い測定範囲 、大きな許容角度、様々な材質に対応できることです。 稼働ステージによるスキャンをせずに、面での測定が可能なエリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムの厚みモニタリング/In-Situ/インライン検査でも使用されています。 また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/コーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ＴＴＶ，厚み分布、PCBコーティング厚み、バッテリー用ホイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど。

• その他計測・記録・測定器
• センサ

『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャン システムを結合したスキャナです。 80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。 定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。 また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■超高速光学スキャン ■測定対象物と光学センサーは固定 ■XYステージ不要 ■分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他計測・記録・測定器
• スキャナ

『CHRocodile CLS』は、100万ポイント/秒で高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大XY 1um, Z 0.02umと、非常に高精度な測定が可能。レンジ幅、分解能、精度から最大6種類の測定ヘッドをご用意し、インラインへの適用も可能です。 【特長】 　■広範囲エリアの非接触３次元形状測定 　　　最大8.3mmのライン幅 　■広い許容角度 　　　反射面で±45° エッジや急斜面に対応可能 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• 三次元測定器
• その他検査機器・装置
• その他計測・記録・測定器

『CHRocodile C』は、安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度は他のラインナップと変わらず、nm分解能の距離測定　最大4表面、3層厚みを同時測定できる厚みセンサとして使用できます。また、プローブと本体が一体の手のひらサイズとコンパクトで、組込み時に省スペースを実現し、インラインでの使用もお勧めです。粗面、鏡面、色付き材料など全ての表面に対応し、測定レンジの範囲も広いセンサーです。また、グラファイトコーティングの厚み測定にも使用が可能です。　 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは（数um)～厚膜(10mm)までカバー。 　■高分解能（サブミクロン Zは最小8nm～） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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『CHRomatic Vision Camera』は、ラインカメラをベースとして 色収差共焦点原理を応用した製品です。 コンパクトで組込みシステムをコンセプト(外部光源不要)で chromatic対物レンズは用途やレンジによって交換可能。 ラインセンサーのすべての利点を採用し、エリア内を高速スキャン及び インライン検査などが容易に行えます。 【特長】 ■フラットでないワークでも鮮明なイメージ ■振動の影響不要 ■全ての材料に対して高いコントラスト ■最大取込データ：100kHz (200MPixel/sec) ■焦点深度：150μm～3mm ■分解能：1～5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• カラーカメラ
• その他検査機器・装置
• その他計測・記録・測定器