＜標準スペック＞ 商品区分　　Ｓｉ純度ｅ　　　Fe　　　Ａｌ　　　Ｃａ ４N　　　　≧99.99%　　 2ppm　 4ppm 2ppm ５N　　　　≧99.999%　　2ppm　 3ppm　 2ppm ６N　　　　≧99.9999%　 0.01ppm 0.05ppm 0.05ppm ＊詳細成分は、カタログをご参照下さい。 ＜粒子径＞ ＊塊状の場合の粒子径は、５ｃｍ～１０ｃｍ程度です。 ＊ご注文により、さらなる微細化にも対応できます。 ＊パウダー粉砕も可。 　（粉砕粒度により、不純物濃度が増加します。詳細はご相談下さい。）

＜化学成分（標準スペック）＞ 商品区分 　　　Ｓｉ純度 　　Ｆｅ　　　Ａｌ　　　Ｃａ １１０１ 　 ≧99.5%　　≦0.10%　≦0.10%　≦0.01% ２２０２（A） ≧99.0%　　≦0.20%　≦0.20%　≦0.02% ２２０２（B） ≧99.0%　　≦0.20%　≦0.20%　≦0.02% ３３０３ 　≧99.0%　　≦0.30%　≦0.30%　≦0.03% ４４１ 　　≧99.0%　　≦0.40%　≦0.40%　≦0.10% ５５３（Ａ） ≧98.5%　　≦0.50%　≦0.50%　≦0.30% ５５３（Ｂ） ≧98.5%　　≦0.50%　≦0.50%　≦0.30% ＜粒子径＞ ＊塊状の場合の粒子径は、５ｃｍ～１０ｃｍ程度です。 ＊ご注文により、さらなる微細化にも対応できます。 ＊パウダー粉砕も可。 　（粉砕粒度により、不純物濃度が増加します。詳細はご相談下さい。）

中国より輸入する高純度一酸化ケイ素（SiO）微粉末。 ■粒度規格 （定番３種類、その他ご相談可） D50=１．０μｍ D50=４．０μm D50=５．０μm ■化学成分（代表値） D50=１．０μｍの場合 　SiO>99.5%　 Al: 243ppm Cr: 33ppm Mn: 7ppm Fe: 175ppm Co: Nil Ni: Nil Cu: Nil Zn: Nil Zr:1507ppm W: 16ppm D50=５．０μｍの場合 　SiO>99.9%　 Al: 157ppm Cr: 27ppm Mn: 4ppm Fe: 139ppm Co: Nil Ni: Nil Cu: Nil Zn: Nil Zr: 3ppm W: Nil ＊量産品の代表値ですが、保証値ではありません。 ＊保証スペックは契約によります。

■ボールミルによる粉砕事例 ＜材料：金属シリコン：粉砕粒度D50=8.107μｍの事例＞ 　　Si(％)純度　 ＞９９．０％ 　　Fe（ｐｐｍ） ２，8００ 　　Al （ｐｐｍ） １，９００ 　　Ca（ｐｐｍ） 　 １００ ＊量産品の測定結果ですが、保証値ではありません。 ＊保証スペックについては、契約により定めます。 ＊粒子径は、D50=５μｍ～５０μｍの範囲でご指定頂けます。 ＊この範囲を超える場合でも、御相談により、数ミリ～サブミクロンまで対応いたします。 ＊粒度分布規制につきましても、超音波篩（ふるい）を使用して対応します。ご相談下さい。

＜材料＞ 　　シリコンウエハー切削工程から排出されるシリコンスラッジ ＜化学成分：XRF測定：代表値＞ 　Si(％) ＞９９．０ 　　Fe（％）＝０．０５　 　　Al （％）＝０．５０ 　　Ca（％）＝０．０３ 　　Ni （％）＝０．０３ 　　Cu (％）＝０．００４ 　 　 C(％) < ３．０ O(％) < ７．０ 　 ＜粒子径＞ 　　D５０=２．０－３．０μｍ 　　 ＊上記は、量産品の測定結果ですが、保証値ではありません。 ＊保証スペックについては、契約にて定めます。

Si > 99.9% Fe=38.6ppm Al=27.3ppm Ca= 6.3ppm P= 5.8ppm B= 0.87ppm D10=0.757 μm D50=1.112 μm D90=1.641 μm ＊1mm程度まで粉砕後、酸洗浄。 ＊その後、ビーズミル。 ＊上記は、量産品の測定結果ですが、保証値ではありません。 ＊保証スペックについては、契約にて協議・決定します。

■ボールミルによる粉砕事例 ＜材料：金属冶金法ポリシリコン4N：粉砕粒度D50=6．75μｍ＞ 　　Si(％)純度　 ＞９９．９％ 　　Fe（ｐｐｍ）　 　１８０ 　　Al （ｐｐｍ）＜ ２００ 　　Ca（ｐｐｍ）＜　 ５１ ＊量産品の測定結果ですが、保証値ではありません。 ＊保証スペックについては、契約にて定めます。

Si > 99.0% D10=0.195 μm D50=0.300 μm D90=0.566 μm ＊ビーズミル。 ＊上記は、量産品の測定結果ですが、保証値ではありません。 ＊保証スペックについては、契約にて協議・決定します。

中国より輸入する高純度一酸化ケイ素（SiO）微粉末。 ■粒度規格 D50=４．０μｍ ■化学成分（代表値） SiO+Others >99.9%　 Al: 301ppm Cr: 130ppm Mn: 21ppm Fe: 350ppm Co: 12ppm Ni: 51ppm Cu: 3ppm Zn: Nil Zr: 37ppm W: Nil ＊量産品の代表値ですが、保証値ではありません。 ＊保証スペックは契約によります。

中国より輸入する高純度一酸化ケイ素（SiO）微粉末。 ■粒度規格 D50=５．０μｍ ■化学成分（代表値） SiO+Others >99.9%　 Al: 157ppm Cr: 27ppm Mn: 4ppm Fe: 139ppm Co: Nil Ni: Nil Cu: Nil Zn: Nil Zr: 3ppm W: Nil ＊量産品の代表値ですが、保証値ではありません。 ＊詳細は、カタログをご参照下さい。 ＊保証スペックは契約によります。

Si > 99.99% D10=0.387 μm D50=1.535 μm D90=8.736 μm ＊1mm程度まで粉砕後、酸洗浄。 ＊その後、ビーズミル。 ＊上記は、量産品の測定結果ですが、保証値ではありません。 ＊保証スペックについては、契約にて協議・決定します。

■製品スペック 材料：シーメンス法バージンポリシリコン（6N以上） 粉砕後不純物濃度 Fe=2.2ppm Al=0.36ppm Ca=6.3ppm 25元素不純物濃度合計=20.21ppm（GDMS分析） → Si+Others > 99.9979% C/O濃度測定（IGA分析） C=22ppm O=0.29% 粒度（レーザー回析・散乱法） D10=1.159 µm D50=4.586µm D90=8.653µｍ ＊量産品の測定結果ですが、保証値ではありません。 ＊保証スペックについては、契約にて定めます。

【化学成分(測定方法：ICP-OES)】 ■Si (%)：> 99.99 ■Fe (ppm)：26 ■Al (ppm)：11 ■Ti (ppm)：< 1 ■Ni (ppm)：144 ■Cu (ppm)：< 1 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【カスタマイズ可能範囲】 ◎材料：シーメンス法バージンポリシリコン（4N） 　　　　金属冶金法ポリシリコン（3N／4N） 　　　　金属シリコン（2N／3N） 　　　　P／Bドープインゴット（4N） ◎化学成分：Si純度　2N～4N 　　　　　　個別の金属不純物濃度※上限値指定 　　　　　　ドーピング元素（B／P／Ge／As等）濃度※上限値指定 　　　　　　酸素濃度※管理上限濃度協議 ◎粒子径：D50指定※D10、D90指定協議 ※「超微粉末」のカスタマイズ可能範囲は開発途上のため、ニーズに合わせ研究を進めます。 　詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

【カスタマイズ可能範囲】 ◎粒子径：粉末状（Powder）1～100μm程度 　　　　　粒状（Granule）1～5mm程度 　　　　　塊状（Lump）50～200mm程度 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。