【搭載可能機(抜粋)】 ＜ファナック　ロボドリル＞ ■α-D21Mi B5 ■α-D14Mi B5 ■α-D21Mi B ■α-D14Mi B ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他工作機械

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ダイヤモンドカッター
• ウエハ加工/研磨装置

【その他の特長】 ■スカイフ板のセルフ研磨装置 　・専用のセルフ研削装置を取り付けて、スカイフ板を高精度に面修正 　・カップ型修正砥石（BZNまたはGC砥粒）を使用して面修正 ■ABICOスコープ（機上検査） 　・ABICOスコープ（オプション）により、機械上で工具の形状検査が可能 　・最大3000倍で観察できる顕微鏡システムで0.3マイクロレベルの欠陥判別可能 　・被研削工具を取り外さなくても硬度な機上品質検査ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ダイヤモンドカッター
• ウエハ加工/研磨装置

【主な機械仕様】 ■主軸：空気静圧オリジナル　ビルトインモータ ■X軸：リニアモーター　10ナノステップ微細送り ■Y軸：リニアモーター　10ナノステップ微細送り ■C軸：ダブル静圧DDモータ　回転精度80ナノ以下 ■A軸：バックラッシュレスDDモータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 研削盤

【ラインアップ（抜粋）】 ■4軸CNCテーブル 　・ZERO180 　・ZERO210 　・ZERO250 　・ZERO250SP（超高剛性） ■同時5軸制御テーブル 　・TYPE 2B 300 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他切削工具

【ラインアップ(抜粋)】 ■BT30　20000min-1 グリス潤滑 カップリング連結タイプ ■HSK-E25 40000min-1 FANUC ビルトイン モーター ■BBT40 ビルトインスピンドル 6000min-1 ABICO誘導モーター 5.5kw ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他加工機械

【ABICOの超精密機械技術】 ◎分解能10ナノ、回転精度40ナノの超精密機械の開発 ◎単結晶ダイヤモンドの自動研磨装置 ◎工作機械周辺装置（高速スピンドル、バックラッシュゼロテーブル、5軸加工機）の開発 【ラインアップ】 ■万能ダイヤモンド研磨機　ND-10 ■マイクロボール研磨機　MB-20 ■ZERO　5軸テーブル ■ゼロテーブル　ZERO350 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

【特徴】 [ＮＣ円テーブル ゼロテーブル210] ○バックラッシュの無いCNCテーブル ○位置決め精度±０．００１度 ○超高精度と高剛性を両立 ○FANUCモータ仕様 ○オリジナルコントローラ仕様 [ダイヤモンド万能研磨機 モデルND-10] ○NCによる自動研磨が可能 ○単結晶ダイヤモンド工具の超精密研磨に最適 ○様々な研磨方向に対応。NCによる自動研磨が可能 ○ＰＣＤ、ＣＢＮのチッピングレス研磨 ○スカイフ主軸は高剛性空気静圧ビルトインモータ [マイクロボール研磨機 モデルMB-20] ○マシン仕様FANUC 31i CNC6軸 ○空気静圧ビルトイン主軸 ○静圧ナノDDモータテーブル（回転精度50ナノ以下） ○リニアモータ駆動（微細ステップ送り10ナノ） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他加工機械
• ウエハ加工/研磨装置