【取扱製品】 ○装置システム スパッタリング蒸着機 →薄膜太陽電池、ディスプレー、半導体などの製造に使用 → 一般的薄膜蒸着装備として多くの金属や無機物薄膜製造に使用可能 ○装置システム ベーパライゼーション蒸着機 →薄膜太陽電池の製造に使用されるCIGS蒸着用装備 →LED、ディスプレイ、半導体などの製造に使われる電子ガン蒸着装備 ○蒸発源/装置 →Effusion Cell →Effusion Cell&プラズマセル ○スパッタリングガン →薄膜太陽電池、OLED、ディスプレイ、半導体などの製造に使用 ○イオンポンプ →各種の超高真空装備に必須的に使用される真空排気用イオンポンプ　他 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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