【基本構成】 ■搬送ロボット ■プラズマ処理装置 ■オゾン水処理装置 ■高濃度オゾン水発生装置 ■加熱ユニット 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ（プラズマ処理1チャンバ、オゾン水1チャンバ） ■ウエハ口径：150, 200, 300mm対応 ■カセット数：2カセット ■用 力：DIW、N2、O2、CO2、CDA ■本体外形寸法：1100（W）× 2050（D）× 2000（H） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。