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『D-Trans』は、ウェーハ持上げ時の過負荷監視、 トランスファー時の異常監視などによりウェーハを確実に保護する、 バッチ式ウェーハ移し換え機です。 ハンドリング時にモータを加減速制御し、ショックを最小として 発塵を防止します。 【特長】 ■全ウェーハを一度に持ち上げ、キャリアからキャリアへ一括移載 ■ウェーハ保持部はV溝形状としウェーハの端面だけをハンドリング ■最適速度制御により、短時間での移載が可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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