薬液透過対応型 (TMA・TMAH・HCl・HF等) 【特長】 ◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。 ◆ 接液部にOリングを使用していない。 ◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。 ◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。 ◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。 ◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。 ◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の３機種。

【Astipureポンプの特長】 ■金属部品一切なし ■寿命が長い ■脈動が少ない ■スラリーの液留まりを防止 ■ラウンド型ベローズ構造 ■外付けコントローラが不要 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ABCブランド メッシュダイヤモンド、cBN 主に工業砥石、研削・切削工具向けとして市場から定評をうけております。ご要望によりメタルコーティングの対応も可能です。 Warrenブランド ミクロンダイヤモンドは、用途によりレジンボンド、メタルボンド、ダイヤモンドワイヤーソー向けとグレードをラインアップしております。高度な精密分級技術またカスタム対応によりお客様に最適なソリューションを提供致します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ※こちらのカタログは英語のカタログになります。

オペレーション ◆バルブ トップのつまみの調整でサックバック量の優れた再現性を実現。 ◆ノーマルクローズ 特徴 ◆接液部はPTFE、射出形成された高純度PFAで構成。 ◆注入する流体の液ダレを防止。 ◆注入する流体を正確に計量するためにサックバック量が調整できる。 ◆サックバック量の再現性がよい。

【特長】 ◆金属部品一切なし。100%樹脂製。 ◆自吸性あり。高吸込揚程。 ◆処理液温度範囲：０℃〜160℃ ◆メンテナンスが極めて容易。所要時間は30分以内。 ◆ポンプの駆動源はドライエアー、または窒素。 ※詳細は『資料請求』まで

【特長】 ◆ 独自にデザインされたラウンドベローズによりスラリーのせん断を減少。 ◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。 ◆ 接液部にOリングを使用していない。 ◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。 ◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。 ◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。 ◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。 ◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の３機種。

※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】 ■薬品の移送 ・優れた流量 ・高い圧力にも対応 ■ウエハプロセス ・コンパクトな設計 ・市場の要求を満たす製品 ■スラリー ・スラリーの影響を低減 ・清掃が容易 ■精密な流体供給 ・高精度 ・再現性 ■高温仕様 ・高温でも使用可能 ・適正な安全性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

◇ 原理：光学・非接触 ◇ 1画面観察時間：約10秒 ◇ 製品目的：欠陥可視化 ◇ 表示：画像表示 ◇ 操作：簡易 ◇ 観察：透過試料（内部・表面・裏面）、反射試料（表面） ◇ 視野範囲：34×28mm～136×115mm ◇ 被写界深度：透過試料（約３００ｍｍ） ◇ 反射試料：（約１ｍｍ） ◇ 分解能：（X・Y）150 nm～ ◇ 分解能：（Z）5 nm～ ◇ 検査項目：表面検査・内部検査 ◇ 導入：現場検査・品質・開発、計測器との併用 ◇ 環境： ノーマル ◇ メンテナンス：フリー ◇ 消耗品：ナシ

◇ 原理：光学・非接触 ◇ 1画面観察時間：約10秒 ◇ 製品目的：欠陥可視化 ◇ 表示：画像表示 ◇ 操作：簡易 ◇ 観察：透過試料（内部・表面・裏面）、反射試料（表面） ◇ 視野範囲：34×28mm～100×84mm ◇ 被写界深度：透過試料（約３００ｍｍ） ◇ 反射試料：（約１ｍｍ） ◇ 分解能：（X・Y）150 nm～ ◇ 分解能：（Z）5 nm～ ◇ 検査項目：表面検査・内部検査 ◇ 導入：現場検査・品質・開発、計測器との併用 ◇ 環境： ノーマル ◇ メンテナンス：フリー ◇ 消耗品：ナシ