『塩化第二鉄溶液電解再生システム』は、老化したエッチング液の再生を 電気化学的な方法で処理することにより、安全でクリーンな液の維持管理 の安定を実現した装置です。 特殊電極の採用により処理能力が向上。さらに、電解槽の増減により あらゆるエッチング操作に最適なシステムで対応可能です。 また、自動制御を行うことにより、運転中の煩わしい操作やメンテナンスは 不要になり、無人運転を可能にします。 【特長】 ■安全・クリーン&高効率 ■高能力&フレキシブル ■簡単操作&優れた経済性 ■完全自動化 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• エッチング装置
• その他半導体製造装置