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【仕様】 ■電源：三相 AC200V 30A ■装置サイズ：W1100×D620×H1700（真空排気用ポンプ含まず） ■チャンバー有効寸法 ・W500×D270×H210（1室として使用する場合） ・W248.5×D270×H210（2室として使用する場合） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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