【営業品目】 ■高周波電源及び高周波マッチングユニットの販売 ■高周波電力測定機器の開発及び販売 ■高周波インターロックシステムの開発及び販売 ■Process Chamberの開発及び販売 ■RF GENERATORおよびRF MATCHING BOXの修理業務 ■半導体ROBOTの開発、製造及び販売 ■半導体熱交換器の開発、製造及び販売 ■半導体、LCD製造装置の開発及び修理・改善工事及び仕様変更業務 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• その他半導体製造装置