東明技研は、独自のブランド Akion(アキオン)で、レーザー干渉計システムを 開発・製造・販売を行っております。 4インチレーザー干渉計「AK-100ZF」をはじめ、6インチレーザー干渉計 「AK-150ZF」や1.5インチレーザー干渉計「AK-40ZF」などをラインアップ。 小口径から大口径のレンズ、平面ガラス、ウェハ、ミラーなどの研磨面を λ/20の高精度で測定評価が可能となります。 【AK-100ZF 特長】 ■超小型4インチフィゾー型レーザー干渉計システム ■横型システムも製作可能 ■広範囲の口径/曲率のレンズ、平面ガラスの面精度評価が可能 ■本体寸法：338×190×254mm ■本体質量：14kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置

『IFM』は、操作が簡単で、どなたでもお使いいただける干渉縞解析装置です。 新しいOSに対応し、新規アルゴリズムの導入により、測定精度が向上し、 様々なニーズに対応する解析機能を有します。 また、ご所有の干渉計に当製品を搭載する、レトロフィット(旧型を改良)にも 対応いたします。 【特長】 ■アイコンによる操作で、初心者でも容易に測定作業が可能 ■画像処理技術の導入による位相つなぎ精度の向上 ■様々な解析機能の追加 ■オートキャリブレーション機能を搭載 ■振動、空気ゆらぎ等の外乱にも強い解析が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他解析

当社は、基準ホログラム素子(CGH)の設計、製作を短納期、低価格で提供可能です。 非球面だけでなく、シリンダ面、トロイダル面などの特殊面、または球面基準レンズ (TS)としても製作可能。 現状は最大回折角14°程度のため、NA 0.24(F/N 2.0)程度の非球面に限定しております。 納期はCGH設計、製作期間含め3ヶ月以内で提供が可能です。 【特長】 ■シリンダ面、トロイダル面などの特殊面、球面基準レンズ(TS)としても製作可能 ■現状は最大回折角14°程度のため、NA 0.24(F/N 2.0)程度の非球面に限定 ■納期はCGH設計、製作期間含め3ヶ月以内で提供可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他電子部品

東明技研は、当社製レーザー干渉計「Akion」、及び各社レーザー干渉計と 互換性のある4inch(Φ100mm)、及びΦ60測定口径に対応したλ/20の 高精度基準レンズを提供しております。 曲率半径は約-4,000(凹面)～約+5,000(凸面)で、広範囲な曲率半径・口径の 被測定レンズの面精度評価が可能です。 また、カスタムでの設計製作にも対応いたします。 【特長】 ■曲率半径：約-4,000(凹面)～約+5,000(凸面) ■測定口径：最大約Φ200mm ■面精度：λ/20 ■マウント：各社レーザー干渉計マウントに取付可能 ■カスタムでの設計製作にも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• レンズ

『高精度TS　λ/40』は、Rの大きな凹面の測定が近距離で可能な 高精度TSレンズです。 基準レンズの交換によって測定精度を高めることができ、 安定した測定が可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• レンズ