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当資料は、ダイヤモンド単結晶工具に匹敵する刃先の鋭さ(刃先丸み)を 実現し、被削材に与える加工歪を最小化するSiC単結晶工具の開発に成功した 合同会社SiCツールズの研究資料です。 本研究で、負性電子親和力を持つダイヤモンドや、結晶粒界を持つ超硬工具では 実現不可能な、化学反応性と切削加工との関連を明らかにしました。 更に、その状態を活用したナノメートルオーダーの超精密加工を実現するため、 SiC単結晶の表面電子状態と被削材との化学反応性を定量的に明らかにしました。 これにより化学的相互作用から加工を俯瞰する学問的分野の創成に 取り組んでいます。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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