E&E Evolutionの製品・サービス一覧

当社では、様々なウエハへのサブミクロンスケールでの加工実績があります。 また、ご希望の周期パターン・アスペクト比での加工はもちろん、 パターンの設計からご提案等もさせていただいております。

• エッチング装置
• 電子ビーム描画装置
• 加工受託

当社では、LEDやLD、FETなどのデバイス作製の一貫加工から、 エッチングや電極、メタル形成等、各工程個別での加工も承っております。 オンウエハプロセス後や実装後それぞれで特性評価も可能です。

• LEDモジュール
• スパッタリング装置
• ウエハ加工/研磨装置

当社では、MOCVD装置を用いたLED構造の成長技術を基幹とする窒化物半導体結晶成長をお客様のご要望に応じて承っております。 また、独自の結晶成長の試作にも積極的に取り組んでおります。

• CVD装置
• LEDモジュール
• ウエハー