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ティー・ケイ・エス株式会社

設立2016年3月
住所東京都品川区西中延2丁目6-12-104
電話03-6426-4720
  • 特設サイト
  • 公式サイト
最終更新日:2026/06/01
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ティー・ケイ・エスの会社概要

確かな技術 確かな品質

半導体・電子デバイス・光学薄膜製造装置のことなら当社へ 当社は、2016年3月に真空プロセスに関連する世界の先進技術を有する 海外メーカー数社の代理店業務ならびにこれら装置に係わる保守業務を 提供する目的で設立致しました。 当社の取扱製品・装置は、スパッタリング、高密度プラズマソースおよびパルス電源、 イオンビームエッチング・ミリング、イオンビームスパッタリング、 中性クラスターイオンビームプロセス装置、有機材料昇華精製並びに成膜装置、 液体用各種フィルター、洗浄用ブラシなど多岐にわたっています。

事業内容

研究用・製造用真空プロセス機器の輸入販売、保守・延命化のコンサルティング ■半導体・電子デバイス・光学薄膜製造装置等の輸出入販売・保守 ■高密度プラズマソースの輸出入販売・保守 ■有機材料昇華精製装置の輸出入販売・保守 ■イオンビームエッチング・ミリング装置の輸出入販売・保守 ■イオンビームスパッタ装置の輸出入販売・保守

おすすめ情報

ALDプリカーサーの超高純度化と精製プロセス価格低減を実現

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ALDプリカーサー、EUVフォトレジスト原料などの超高純度と収率の両立を実現。品質と価格両面での競争力向上を実現します

先端半導体業界では、デバイスの性能を最大限に引き出すために、材料の超高純度化が不可欠です。 特に、ALD工程のプリカーサーや極紫外露光のフォトレジスト用途での要求においては、不純物の混入が最終製品の性能劣化の大きな要因となります。 不完全な錯体異物、ダイマー・ポリマー由来の異物の分離精製し、高品質なプリカーサーの安定供給を支えます。 フォトレジスト原料中のメタル因子異物を分離精製し、EUV領域での使用を前提としたフォトレジスト原料の安定供給を支えます。 当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度99.99%、歩留まり98%(2回目の精製後)を実現し、先端半導体材料の高純度化という課題を解決します。 【活用シーン】 ・ALDプリカーサー(金属錯体物質)の分離精製と超高純度化 ・EUVフォトレジスト原料の精製 ・有機EL材料の精製 ・有機半導体材料の精製 ・高純度化が求められるその他半導体材料の精製 【導入の効果】 ・歩留まり向上によるコスト削減 ・卓越した再現性による、品質と生産計画の安定 ・高品質な材料供給と価格低減による競争力強化

製品・サービス (48)

Amira SRL  Bioresetシリーズ 製品画像
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高効率昇華精製装置 特徴と優位点

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リモートプラズマ イオンビームスパッタ「PlasmaQuest HiTUS」

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ハイレートイオンビーム成膜装置  HR-PVD 日本語

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最新昇華精製装置ご紹介

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ニュース(12)

代表取締役社長交代のご挨拶

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拝啓 時下ますますご清栄のこととお慶び申し上げます。 平素は格別のご高配を賜り、厚く御礼申し上げます。 さて、このたび弊社では、2026年5月31日付で 代表取締役社長 田村正之 が退任し、 2026年6月1日付で 清水博康 が代表取締役社長に就任いたしました。 これを機に、社員一同、より一層のサービス向上に努めてまいる所存でございます。 今後とも変わらぬご愛顧を賜りますよう、お願い申し上げます。 ティー・ケイ・エス株式会社 代表取締役社長 清水 博康

2026年07月15日

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通信障害の復旧に関するお知らせ

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2025年7月28日午前に発生いたしました通信障害により、お電話が繋がりにくい状況が発生しておりましたが、システムが全て復旧いたしました。 原因はネットワーク機器の不具合によるもので、7月30日15時55分現在は電話・ネットワークともに正常に稼働しております。 この度は、長時間にわたり多大なるご不便、ご迷惑をおかけいたしましたことを、深くお詫び申し上げます。

2025年07月31日

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PlasmaQuest社製 リモートプラズマ イオンビームスパッタリング装置のページを更新いたしました

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ご紹介開始より、各社様からご好評を頂いております、PlasmaQuest社製 リモートプラズマ イオンビームスパッタリング装置のページを更新いたしました。 リモートプラズマ ターゲットバイアス スパッタリングの動画を掲載いたしました。 ご質問、ご要望等ございましたらお気軽にお問い合わせください。

2025年05月20日

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詳細情報

企業名 ティー・ケイ・エス株式会社
連絡先〒142-0054 東京都品川区西中延2丁目6-12-104地図で見る TEL:03-6426-4720 FAX:03-6426-7031
主要取引先-参加研究会- 光学薄膜研究会 ORIST次世代高速通信WG 関東半導体人材育成等連絡会議 有機光エレクトロニクス産業化研究会 有機エレクトロニクス研究会 MEMS Egineer Forum(MEF)
(順不同・敬称略)
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業種 産業用機械
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