- 1100℃モデル：カンタル製ワイヤー発熱体 - セラミック管に巻き付けられる発熱体は、耐火セメントで固定 　され、繊維ブランケットに埋め込まれます。 -1500℃モデル：シリコンカーバイド棒状発熱体 　お客様にて交換が可能です。(手順書供給可能） - グレー塗装・金属板の外側ケーシング - 炉の下側の架台に埋め込み式制御パネル（縦側の場合、別置き制御ボックス） - OMRON製プログラム温度調節器等、各種カスタマイズ応じます - 熱電対　：タイプN(最高1200℃)　及び　タイプS(同、1500℃) - 高品質の断熱材 - 過熱時アラームリレー ■■■■　オプション機器の特長　■■■■ - 縦型用スタンド - 独立熱電対　過熱保護機能 - 追加熱電対による炉心管内温度の表示 - ガス出力部のチェックバルブ - 炉心管（ムライト・アルミナ・石英） - SUS製真空ガスタイトシール - NWフランジおよび真空配管 - 真空ポンプ - 真空計（連成計） - 雰囲気ガス用流量計 - チラー(真空ガスタイトシール冷却用） - マルチゾーン（加熱ゾーン）

<主な特徴> 石英またはC799の標準作業管 分離型または統合型の制御システム マスターとスレーブの2種類のコントローラーを用意 コントローラのカスタマイズが可能 高品質のファイバー素材 高レベルの温度均一性 マルチゾーンデザイン フランジでの操作に適した標準的な長い作業管が側面から突き出ている 電気的保護 シリコン制御の整流器によるシステム運用 長寿命を実現する高品質の発熱体 直感的なコントローラーのユーザーインターフェース

■■■■　標準機器の特長　■■■■ - 1200℃-1300℃モデル：カンタル製ワイヤー発熱体 - セラミック管に巻き付けられる発熱体は、耐火セメントで固定 　され、繊維ブランケットに埋め込まれます。 -1400-1600℃モデル：シリコンカーバイド棒状発熱体 　お客様にて交換が可能です。(手順書供給可能） - グレー塗装・金属板の外側ケーシング - 炉の下側の架台に埋め込み式制御パネル - OMRON製プログラム温度調節器等、各種カスタマイズ応じます - 熱電対　：タイプN(最高1200℃)　及び　タイプS(同、1600℃) - 試料配置用底板　(セラミック製・２個・かまぼこ型　横型仕様) - 断熱シールド(セラミック製エンドプラグ）(２個) - 高品質の断熱材 - 過熱時アラームリレー ■■■■　オプション機器の特長　■■■■ - SUS製真空ガスタイトシール - NWフランジおよび真空配管 - 真空ポンプ - 真空計（連成計） - 雰囲気ガス用流量計 - チラー - ユニバ―サルスタンド - マルチゾーン（加熱ゾーン）

＜特長＞ ■　最高1200℃仕様: カンタルワイヤー発熱体 ■　セラミック管に巻き付けられたワイヤー発熱体は、耐火セメントで固定され、繊維ブランケットに埋め込まれます。 ■　最高1400℃-1500℃-1600℃仕様: SiC発熱体 ■　作業管に平行して設置されたSiC発熱棒は 作業管に平行に設置されているため、温度の均一性に優れており交換が容易 ■　グレーの塗装で金属板の外側ケーシング ■　炉の下側に搭載されるコントロールパネル(標準） ■　数値表示が明瞭なOMRON温度調節器(プログラム式選択可能) ■　熱電対タイプN(最大1200℃)とタイプS(最大1600℃)による温度測定 ■　サンプル底板(２ユニット) ■　熱シールド/エンドプラグ(２ユニット) ■　高品質の断熱材 ■　過熱時アラームリレー ＜オプション＞ ■　縦型スタンド ■　ユニバーサルスタンド（縦・横型） ■　独立熱電対過熱保護制御器 ■　雰囲気制御用ガスタイトシール ■　真空ポンプ・配管 ■　独立制御ボックス 詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。

＜特長＞ ■　付属炉心管　ムライト管　または　アルミナ管 ■　制御ボックス　一体型（横型）　または　別置き型（オプション） ■　プログラム温度調整器　Omron E5EC-T　8プログラム32セグメント ■　高品質の断熱材 ■　優れた温度均一性 ■　炉心管に巻きつけられるカンタルワイヤー発熱体　または　SiC発熱体 ■　断熱プラグ、シリンダープレート同梱 ＜炉心管用追加アクセサリー＞ ■　水冷式真空対応ガスタイトシール ■　雰囲気制御用ガスタイトシール ■　追加炉心管 ＜製造時指定オプション＞ ■　独立型過昇温防止用温調器 ■　温調器　各種 ■　各ゾーン独立制御（各ゾーンの温調器を指定） ■　追加熱電対による、炉心管内温度表示 ■　ユニバーサルスタンド　垂直、傾斜位置 ■　温度ログ・PC表示兼用ソフトウェア

＜特長＞ ■　付属炉心管　ムライト管　または　アルミナ管 ■　制御ボックス　一体型（横型）　または　別置き型（オプション） ■　プログラム温度調整器　Omron E5EC-T　8プログラム32セグメント ■　高品質の断熱材 ■　優れた温度均一性 ■　カンタルワイヤー発熱体　または　SiC発熱体 ■　断熱プラグ、シリンダープレート同梱 ＜炉心管用追加アクセサリー＞ ■　水冷式真空対応ガスタイトシール ■　雰囲気制御用ガスタイトシール ■　追加炉心管 ＜製造時指定オプション＞ ■　独立型過昇温防止用温調器 ■　温調器　各種 ■　各ゾーン独立制御（各ゾーンの温調器を指定） ■　追加熱電対による、炉心管内温度表示 ■　ユニバーサルスタンド　垂直、傾斜位置 ■　温度ログ・PC表示兼用ソフトウェア

＜特長＞ ■　MoSi2(モリブデンデシリサイド）発熱体 ■　グレー塗装、金属板の外装 ■　炉の下側に配置されるコントロールパネル ■　サンプル底板(２ユニット) ■　熱シールド/エンドプラグ(２ユニット) ■　高品質の断熱材 ■　低電力使用量 ■　 短い加熱/冷却期間 ■　高精度 ■　過熱時アラームリレー 詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。

＜特長＞ ■　縦型動作のための追加の直立架台、追加装備可能 ■　トランク型開閉式の構造によりチューブの装填が容易 ■　商品構成に含まれるC 530からなる大気動作の作業管 ■　炉とは別個の制御器は壁キャビネットまたは縦型キャビネット内に設置 ■　操作説明書の枠内における規定どおりの使用 ■　制御器についての詳細は別紙参照 <付属装置> ■　作業管内、および管外の炉室温度測定によるチャージ調整 ■　追加の温度計による作業管内の温度表示 ■　多種のガスパージセット、不燃性の保護ガス反応ガス雰囲気下および真空での運転向け ■　温度均一性を最適化するための3ゾーン型設計 ■　ガス排出口のチェックバルブ（逆止弁）はリークエアの侵入を防止 ■　発熱体の保護用、またはチャージを載せるためのセラミックシェル ■　連続炉として使用するための光学式温度計測 ■　直立式の動作のためのスタンド ■　スイッチ装置と制御装置内蔵の架台 詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。

＜特長＞ ■　最高温度1100、1300℃、または1500℃ ■　コンパクト設計 ■　直立式、または水平式動作を自由に設定可能 ■　作業高さは自由に設定可能 ■　素材C 530からなる作業管 ■　S熱電対 ■　スタンドから取外しての動作も安全規定を守ることで可能 ■　炉下部にスイッチ装置と制御器内蔵 ■　操作説明書の枠内における規定どおりの使用 ■　制御器についての詳細は別紙参照 詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。

＜特長＞ ■　最高温度1200 °C、または1300 °C ■　標準タイプとして１ゾーン構成 ■　二重壁構造ステンレス圧延板の本体 ■　管外径50～170 mm、加熱長250～1000 mm ■　作業管素材C 530、2個のファイバープラグのついた標準型 ■　最高温度1200 °C N熱電対 ■　最高温度1300 °C S熱電対 ■　半導体リレーによる低騒音の加熱動作 ■　操作説明書の枠内における規定どおりの使用 ■　制御器についての詳細は別紙参照 詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。

＜特長＞ ■　最高温度: 1100 または 1300 ■　ステンレスプレート製のハウジング ■　管内径: 30 mm、加熱長さ: 200 mm ■　作業管の標準装備は 2 個のファイバープラグを含めた C 530 製 ■　K タイプ (1100 ) または S タイプ (1300 ) の熱電対 ■　半導体リレーを採用し、騒音を抑えたヒーター ■　作業管に直接巻き付けられたヒーター線により非常に高速の加熱 ■　操作説明書の枠内における規定どおりの使用 ■　制御の内容は別紙参照 ＜付属装置＞ ■　手動設定可能な過昇温計で炉とワークの過熱を監視(熱保護等級2、EN60519-2に準拠) ■　ガスパージセット、不燃性の保護ガス反応ガス向け 詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。

<付属装置> ■　作業管内、および管外の炉室温度測定によるチャージ調整 ■　追加の温度計による作業管内の温度表示 ■　保護ガス動作、および真空動作のためのガス密閉フランジ ■　手動式、または自動式ガス化システム ■　最適な温度均一化のための3ゾーン設計（025Aのみ） ■　ガス排出口のチェックバルブ（逆止弁）はリークエアの侵入を防止 ■　直立式動作のためのスタンド ■　プロセスの要求に対応する作業管の設計 詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。

<付属装置> ■　遮断温度設定可能の温度制御器、EN 60519-2の熱保護クラス2準拠、 ■　炉とワークの過熱保護 ■　作業管内、および管背後の炉内温度測定によるチャージ調整、別紙参照 ■　ファイバープラグ ■　ガス排出口のチェックバルブ（逆止弁）はリークエアの侵入を防止 ■　水冷却の動作のためのフランジを備えた作業管 ■　追加の温度計による作業管内の温度表示 ■　保護ガスと真空動作用の交換ガスパッケージ ■　交換可能の作業管は別紙の表を参照 詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。

＜特長＞ ■　最高温度1100 °C ■　二面加熱方式 ■　ヒーター内蔵のセラミック発熱体、飛散物と排気ガスからの保護、交換は容易 ■　1分につき6回以上の空気入換え ■　予熱された流入空気による優れた温度均一性 ■　分類されないファイバー材から断熱 ■　ステンレス圧延板の本体 ■　ハウジングを低温に保つ高堅牢性の二重壁構造 ■　置き台として利用可能な前開き扉、または値段の追加なしの上下スライド式扉の選択可能、後者では高熱部はユーザー操作の扉裏側に位置 ■　半導体リレーによる低騒音の加熱動作 ■　操作説明書の枠内における規定どおりの使用 ■　制御器についての詳細は別紙参照 詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。

最高温度(℃)：1500℃ 常用温度(℃)：1350℃ 温度コントローラー：プログラマブルコントローラ(FC-1000) センサー：Kタイプ 加熱長：300mm 発熱体素材：SiC（シリコンカーバイト） 断熱材：セラミック 安全装置：停電復帰後自動的リセット、設定時間到達知らせブーザー、過熱防止装置付き オプション： ガス乾燥管 ALICAT社マスフローコントローラ（MFC）と背圧弁（BPR） ガス投入モジュール追加 PC用制御ソフトウェア

最高温度(℃)：1700℃ 常用温度(℃：:1550℃ 温度コントローラー ：プログラマブルコントローラ(SP590) センサー：Rタイプ 加熱長：300mm 発熱体素材：SiC（シリコンカーバイト） 断熱材：MoSi2 安全装置：停電復帰後自動的リセット、過熱防止装置付き

最高温度(℃)：1200℃ 常用温度(℃)：1000℃ 温度コントローラー：プログラマブルコントローラ(FC-1000) センサー：Kタイプ 加熱長：200mm x 3ゾーン = 600mm 発熱体素材：KANTHAL社A-1 FeCrAl合金 採用 断熱材：セラミック 安全装置：停電復帰後自動的リセット、設定時間到達知らせブーザー、過熱防止装置付き オプション： ガス乾燥管 ALICAT社マスフローコントローラ（MFC）と背圧弁（BPR） ガス投入モジュール追加 PC用制御ソフトウェア

最高温度(℃)：1800℃ 常用温度(℃)：1650℃ 温度コントローラー：プログラマブルコントローラ(SP590) センサー：Bタイプ 加熱長：300mm 発熱体素材：SiC（シリコンカーバイト） 断熱材：MoSi2 安全装置：停電復帰後自動的リセット、過熱防止装置付き

最高温度(℃)：1200℃ 常用温度(℃)：1000℃ 温度コントローラー ：プログラマブルコントローラ(FC-1000) センサー：Kタイプ 加熱長：600mm 発熱体素材：KANTHAL社A-1 FeCrAl合金 採用 断熱材：セラミック 安全装置：停電復帰後自動的リセット、設定時間到達知らせブーザー、過熱防止装置付き オプション： ガス乾燥管 ALICAT社マスフローコントローラ（MFC）と背圧弁（BPR） ガス投入モジュール追加 PC用制御ソフトウェア

最高温度(℃)：1200℃ 常用温度(℃)：1000℃ 温度コントローラー：プログラマブルコントローラー センサー：Kタイプ 加熱長：300mm 発熱体素材：Kanthal A-1抵抗発熱合金 断熱材：セラミック 安全装置：停電復帰後自動的リセット、設定時間到達知らせブーザー、過熱防止装置付き オプション： ガス乾燥管 ALICAT社マスフローコントローラ（MFC）と背圧弁（BPR）セット ガス投入モジュール追加 PC用制御ソフトウェア

【ラインアップ】 ■加熱ゾーン数：シングルゾーン(1ゾーン) 　・OSK 55DB312-A 　・OSK 55DB312-B 　・OSK 55DB312-C 　・OSK 55DB312-D ■加熱ゾーン数：3ゾーン 　・OSK 55DB312-E 　・OSK 55DB312-F 　・OSK 55DB312-G ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■12HT ・最高温度(℃)：1,200 ・加熱ゾーン長さ：205/350/440 ・標準チューブ径：40/60/80/100 ・発熱体：抵抗線 ・温度制御：30セグメントPID自動制御 ・サーマルカップル：Kタイプ ・チャンバー材質：アルミナセラミックファイバー ・昇温速度：0～20℃/分(推奨0～10℃/分) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■14RT ・最高温度(℃)：1,400 ・発熱体：SICヒーター ・サーマルカップル：Sタイプ ・温度制御精度：±1℃ ・温度均一性：±5℃ ・チューブ回転数：0～10RPM可変(調整可能) ・傾斜角：0～30℃(調整可能) ・表示モード：LED ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■12SL ・加熱長(mm)：205/350/440 ・管内径(mm)：40/60/80/100 ・発熱体：抵抗線 ・チャンバー材質：アルミナセラミックファイバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■17VT ・加熱長(mm)：205/350/440 ・管内径(mm)：40/60/80/100 ・発熱体：Mosi2ヒーター ・温度制御：30セグメントPID自動制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

OSK 481TVK-V 1200℃　真空管状炉は、作業チューブを自由に交換できる画期的な製品です。 この炉は、反応器の加熱プロセスやシリコンウエハの生産に伴う研究開発に最適です。発熱体は炉心管とは隔離しており、高品質の断熱材で覆われています。その結果、低電力使用量と高精度を実現しました。 また、短い加熱/冷却期間とマイクロプロセッサ温度調節器により、操作性も抜群です。 さらに、水冷式ガスタイトシールや断熱炉心管内プラグなどのアクセサリーにより、より長い均熱長をもたらす事が可能です。

【標準付属品】 ■炉体：1 ■温度コントローラー：1 ■電源コード3メートル：1 ■熱電対：1 ■取扱説明書：1 ■るつぼトング：1 ■耐熱用手袋：1 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■温度制御パネルはPIDおよびSSR制御モードで精密な温度制御可能 ■国際標準化されたN型ニッケル・クロム・シリコン熱電対を採用 ■温度測定範囲は0〜1300℃で長寿命 ■炉扉には扉開閉式電源オフ安全保護スイッチを装備 ■柔軟にプログラミングでき操作しやすい ■高品質の石英ガラス作業管、金属またはコランダム作業管により 　異なる作業条件にも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■SIMADENマイクロプロセッサーによるセルフチューニングPID制御により 　好適な温度制御が可能 ■RS485ポート及びUSBアダプタを内蔵しパソコン制御が可能 ■長寿命N型熱電対を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■SIMADENマイクロプロセッサーによるセルフチューニングPID制御により 　好適な温度制御が可能 ■RS485ポート及びUSBアダプタを内蔵しパソコン制御が可能(別途費用) ■長寿命N型熱電対を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【標準付属品】 ■炉体 ■温度コントローラー ■電源コード(3m) ■熱電対 ■取扱説明書 ■るつぼトング ■耐熱用手袋 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【標準付属品】 ■炉体 ■温度コントローラー ■電源コード(3m) ■熱電対 ■取扱説明書 ■るつぼトング ■耐熱用手袋 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【標準付属品】 ■炉体 ■温度コントローラー ■電源コード(3m) ■熱電対 ■取扱説明書 ■るつぼトング ■耐熱用手袋 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【標準付属品】 ■炉体 ■温度コントローラー ■電源コード(3m) ■熱電対 ■取扱説明書 ■るつぼトング ■耐熱用手袋 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【標準付属品】 ■炉体 ■温度コントローラー ■電源コード(3m) ■熱電対 ■取扱説明書 ■るつぼトング ■耐熱用手袋 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【標準付属品】 ■炉体 ■温度コントローラー ■電源コード(3m) ■熱電対 ■取扱説明書 ■るつぼトング ■耐熱用手袋 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【標準付属品】 ■炉体 ■温度コントローラー ■電源コード(3m) ■熱電対 ■取扱説明書 ■るつぼトング ■耐熱用手袋 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■最高温度：1,400℃ ■常用最高温度：1,300℃ ■加熱長：300＋300mm ■発熱体：SIC ■炉管材質：アルミナチューブ ■温度制御精度：±1℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■最高温度：1,700℃ ■常用最高温度：1,600℃ ■加熱長：300＋300mm ■発熱体：MoSi2 ■炉管材質：アルミナチューブ ■温度制御精度：±1℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■最高温度：1,200℃ ■常用最高温度：1,100℃ ■発熱体：HRE合金抵抗ワイヤー ■温度制御精度：±1℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■加熱長：300mm ■最高温度：1,400℃ ■常用最高温度：1,350℃ ■電圧：220V ■発熱体：高品質炭化ケイ素棒ヒーター(SIC) ■温度制御精度：±1℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■加熱長：300mm ■最高温度：1,700℃ ■常用最高温度：1,600℃ ■電圧：220V ■発熱体：高品質二珪化モリブデンヒーター(MoSi2) ■温度制御精度：±1℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■最高温度：1,400℃ ■常用最高温度：1,300℃ ■発熱体：高品質炭化ケイ素棒ヒーター(SIC) ■温度制御精度：±1℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】 ■最高温度(℃)：1200℃ ■常用温度(℃)：1000℃ ■加熱ゾーン：300mm x 2 ■温度コントローラー：プログラマブルコントローラ(SP590) ■センサー：Kタイプ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

【仕様(一部)】 ■最高温度(℃)：1200℃ ■常用温度(℃)：1000℃ ■加熱ゾーン：300mm×3 ■温度コントローラー：プログラマブルコントローラ(SP590) ■センサー：Kタイプ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。