＜標準仕様＞ 【最大対応基板サイズ】φ4インチ 【最大対応基板厚】2mm 【最大対応マスクサイズ】5×5インチ 【UVランプハウス】マルチミラータイプ 【照射強度】＞14mW/cm2(at405nm) 【照度均一性】＜±4.0％ 【露光光源】UVランプ500W 【露光波長】ブロードバンド(g・h・i線) 【露光用タイマー】切り換え方式　タイマーセット式0～999.9秒/積算光量カウンター式1～9999カウント 【UVランプ劣化補正機能】標準装備 【アライメントスコープ】二視野顕微鏡　対物レンズ間隔18～60mm 【顕微鏡解像度】1.2μm(対物レンズ20×使用時) 【アライメントギャップ測長機能 標準装備 【コンタクト方式】ソフトコンタクト/ハードコンタクト 【マニプレーター移動範囲】X・Y±5mm微動1/8mm1回転　θ:70°微動±7°　Z:4mm(空圧駆動分1mm/粗動3mm)微動0.16mm 【十字動ステージ移動範囲】X・Y±20mm 【除振台】標準装備

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