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当社では、半導体製造装置各種消耗部品をご提供しております。 QUARTZ (溶融石英/合成石英）部品をはじめ、SILICON部品、SIC部品等、 CERAMIC HEATER&MCA HEATERまで取り扱いしております。 また、半導体製造装置関連各種部品の修理、メンテナンスも 行いますので、ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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