【仕様(ロボット部)】 ■駆動方式　XYZ軸：クローズドループ制御ステッピングモータ駆動 ■作動移動範囲 　・X軸：155mm 　・Y軸：125mm 　・Z軸：100mm 　・A軸：360° ■最小移動量(分解能)　XYZ軸：1μm ■最大移動速度　XYZ軸：50mm/s　(無負荷時) ■位置決め精度　XYZ軸：30μm以下　(無負荷/単軸時)　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• その他産業用ロボット

【仕様(ロボット部)】 ■駆動方式　XYZ軸：ACサーボモータ駆動 ■作動移動範囲 　・X軸：200mm 　・Y軸：250mm 　・Z軸：100mm ■最小移動量(分解能)　XYZ軸：1μm ■最大移動速度 　・X軸：1000mm/sec　（無負荷時） 　・Y軸：500mm/sec　（無負荷時） 　・Z軸：250mm/sec　（無負荷時）　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• その他産業用ロボット

【仕様(ロボット部)】 ■駆動方式　XYZ軸：5相ステッピングモータ ■作動移動範囲 　・X軸：170mm 　・Y軸：170mm 　・Z軸：70mm ■最小移動量(分解能)　XYZ軸：2μm ■最大移動速度　XYZ軸：60mm/sec　(無負荷時) ■位置決め精度　XYZ軸：20μm　(無負荷/単軸時)　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• その他産業用ロボット

【共通仕様（一部抜粋）】 ■移動方向：XY軸 ■ガイド方式：クロスローラガイド ■送り方式：精密ボールねじ　リード1mm ■主要材質/外観：アルミ合金/黒アルマイト処理 ■分解能：0.1μm（1/20分割時）、1μm（1/2分割時） ■最大速度：10mm/sec（1/2分割 10000pps）　 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• ステッピングモータ

【共通仕様（一部抜粋）】 ■移動方向：X軸、XY軸対応 ■テーブルサイズ：180×213mm ■ガイド方式：リニアスライドガイド ■送り方式：精密ボールねじ リード5mm ■モータ：0.75A/相 5相ステッピングモータ　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• ステッピングモータ