機械要素・部品

株式会社ApolloTech

従業員数41名
住所韓国（全域）RM.1505, Union Center B/D 310, Gangnam-Daero, , Seoul
電話+82-31-778-6336
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【低コスト】高性能のPI静電チャック

低コスト、高性能、多用途、カスタマイズ可能な 静電チャックです！

仕様 ・Size: 70~650mm (W) X 70~490mm (H) X 5~25T (T) ・Voltage(DC): ≤ ±5kV ・ドライブユニット 　　Power Supply 　　Power Cable ・吸着力: 2g/cm2 ・カストマイズ可能 検査項目 ・外見 ・平坦度(AL+BODY) : ≤ ±10µm ・最小電圧 ・耐電圧: ±3.5kV Test(Vacuum), ±5.0kV Test(Atmosphere) ----------------------------------- e-mail : sales@apollotech.co.kr

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  • その他
  • 組立機械

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