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仕様 ・Size: 70~650mm (W) X 70~490mm (H) X 5~25T (T) ・Voltage(DC): ≤ ±5kV ・ドライブユニット Power Supply Power Cable ・吸着力: 2g/cm2 ・カストマイズ可能 検査項目 ・外見 ・平坦度(AL+BODY) : ≤ ±10µm ・最小電圧 ・耐電圧: ±3.5kV Test(Vacuum), ±5.0kV Test(Atmosphere) ----------------------------------- e-mail : sales@apollotech.co.kr
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