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当社は、基板WET洗浄装置(枚葉、スピン)をはじめ、基板DRY洗浄装置 (エキシマUV)、レジストコーター、HP/CPなどさまざまな液晶・半導体 関連装置の設計・製造を行っています。 また、インクジェット関連装置、自動車関連装置、半導体関連装置なども 取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■基板WET洗浄装置(枚葉、スピン) ■基板DRY洗浄装置(エキシマUV) ■レジストコーター、HP/CP ■搬送ロボットシステム、ストッカー ■検査装置 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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