【主な保有技術】 ■成膜技術：　スパッタ、常圧CVD、蒸着、火炎加水分解堆積(FHD)、高温アニール ■フォトリソ技術：　縮小ステッパー露光、非接触等倍露光、コーターデベロッパー ■微細加工技術：　ガラスRIE、メタルRIE、ガラス・Si-Deepエッチング、リフトオフ ■ウェハ後工程技術：　ダイシング、端面研磨、光ファイバ接続、薄膜波長板(λ/2、λ/4) ■評価技術：　走査型電子顕微鏡、ガラス膜厚屈折率測定、精密寸法測定、導波路光学特性評価 【適用製品】 ■各種光導波路製品（スプリッタ、AWG、光スイッチ、光干渉計、光カプラ、光フィルタ、光遅延線、90度ハイブリッド、偏波スプリッタ、偏波コンバイナ、導波路型エタロン、RGBカプラ、LiDAR用PLC等） ■加工技術応用製品（マイクロ流路、ナノインプリントモールド、各種機能性薄膜等） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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