当社では、導電性セラミックを取り扱っております。 アルミナを主成分として静電気対策用から金属並みの伝導性があるものなど バリエーションがあり、使用用途として、チャンバー内の静電気対策や、 帯電したシリコンウエハを搬送するロボットハンドなどがあります。 その他、窒化アルミや、設備の移転からチャンバー部品までお客様の ニーズに合わせて改造も可能な半導体装置部品にも対応。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■10-1から101の導電性アルミナ、放電加工対応可能 ■MΩからGΩまで体積抵抗率をお客様要望に合わせて制作可能 ■アルミナ99.5％以上のセラミックなので真空環境にも対応 ■最大寸法は500×500×15Tまで制作可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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