Beneqの企業情報

生産と研究のためのALDツールを開発し、ALDソリューションを通じてテクノロジーのメガトレンドを実現します

弊社Beneq株式会社は、フィンランドに本社を持つALD（Atomic Layer Deposition：原子層成膜）装置のプロバイダーBeneq OYの日本法人です。 当社は1984年に、当社は世界初となるALDを用いた製品を生産。現在では、R&D向け製品（TFS 200、TFS 500）、3Dおよびバッチ生産向け（P400A、P800、P1500）、高速成膜Spatial(空間分離型) ALD（C2R）、Roll to Roll ALD（Genesis）、半導体デバイス製造向け（Transform、Transmute、Prodigy）といった製品により、市場をリードしています。 （注）半導体デバイス製造向け装置に関しましては、本ページには記載しておりません。当社までお問い合わせください。