オリジンの会社概要

独自の赤外線加熱ヒーターとウェハステージを採用。ウェハ面内の均一性と高スループットを両立。高品質なはんだバンプ形成・接合に貢献

ウェハバンプ用ギ酸還元真空リフロー炉『MPWシリーズ』は、 ギ酸還元と真空熱処理により、低温でも低ボイドや形状安定性に 優れた高品質なバンプ形成・接合プロセスを実現しています。 独自の赤外線加熱ヒーターと冷却機能を備えたウェハステージにより、 安定した温度制御性と高スループットを両立し、フラックスフリーにより洗浄工程の削減にも貢献。 加熱から冷却までを1台の処理チャンバーで完結し、処理能力に応じて 複数チャンバー構成を選択できるほか、排気されるギ酸ガスは装置内の 分解処理ユニットで無害化し、作業環境の安全性にも配慮しています。 【特長】 ■高い還元作用を持つギ酸を還元ガスとして使用 ■排気されるギ酸ガスを装置内の分解処理機能で無害化 ■加熱から冷却までを1チャンバーで完結し、コンパクトな構成が可能 ■フラックス洗浄工程が不要なため、工程削減に寄与 ■半導体パッケージ、光半導体、パワー半導体関連の現場で活用可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。