商社・卸売り

株式会社アイ・アール・システム

設立1993年5月25日
資本金1000万
従業員数24名
住所東京都多摩市愛宕 4-6-20
電話042-400-0373
最終更新日：
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リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うため、ウエハ膜の種類に依存せず正確な温度測定が実現可能！

当温度モニターは、今までに解決できなかった放射率に対する問題とシリコンウエハのプロセス中の測温に対する問題を一挙に解決できる、次世代の非接触半導体プロセス温度モニターです。　ウエハの放射率もリアルタイムにモニタリング。

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