アイ・アール・システムの製品・サービス一覧

当社が取扱うCI SYSTEMS社のキャビティ黒体炉は、30年以上、宇宙防衛産業から民生産業用の赤外線基準光源として世界中の公的研究所、企業の研究所、生産ラインで選ばれています。　NIST準拠で高精度と高安定性を誇る信頼できる製品です。1000℃（オプションで1200℃）の高温黒体、口径φ1インチ、0.99の高放射率（0.999もあり）

• 試験機器・装置
• その他検査機器・装置

半導体プロセス中のウエハ温度のモニタリングは非常に重要なプロセス・パラメータですが、今まで適切な測定方法が確立できていないために、温度以外のパラメータでプロセス状況を推測してきました。 ウエハ放射率にはロット内でばらつきがあるにも関わらず、一般の放射温度計では測定対象物の放射率をユーザーが適当に決めなければならないため、温度誤差が発生し、温度測定自体の信頼性が乏しいことがその理由でした。 弊社取扱のリアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニターは、今まで無し得なかった対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うため、ウエハ膜の種類に依存せず正確な温度測定が実現可能になりました。 また、独自の赤外線高感度測定技術により、低温まで(検出器の感度限界近くまで)測定出来ます。 今まで問題になっていたチャンバー中の迷光に付きましても、さまざまなソリューションをご提供する事ができます。

• その他半導体製造装置
• 光学測定器
• 温湿度関連測定器

米国Infrared Laboratories社のウィンストン・コーンは、遠赤外線～ミリ波（いわゆるテラヘルツ領域）に対応する集光器です。同社では75種類以上のウィンストン・コーンを在庫しているため様々なニーズに対応可能です。 ウィンストン・コーンをお探しの際には、是非ともお問い合わせください。

• その他検査機器・装置

米国Infrared Laboratories社のクライオデュワーは、様々なタイプを標準でラインナップしています。 もちろん、カスタマイズも可能です。

• 真空機器
• その他理化学機器

【PhaseCam6000】は、揺れの強い場所や移動物体など、震動環境・長光路での測定に効果を発揮する超小型高速撮像干渉計。 ◎超小型なので、研磨加工機への導入も可能。 ◎ファイバーによって光源部分を分離、従来の重い筺体では困難だったアライ 　メントを容易に。 ◎オプションでケーブル類、ファイバー延長可能。 ◎様々なDiverging、LensやNull opticsを付けることで、様々な平面・球 　面・非球面の測定が可能。 ◎標準的な追加オプションとして、５軸調整マウントや、X5ビームエキス 　パンダーも用意しています。 詳細な資料や製品に関するご相談、お見積り依頼等は、 下記フォーム、又は弊社ホームページよりお気軽にお問い合せください。

• 光学顕微鏡
• マイクロスコープ

MRIナビゲーショントラッキングシステム EndoScoutは、核磁気共鳴装置の強力な磁場の中でも機材の位置を高精度にリアルタイムでモニタリングできます

• その他計測・記録・測定器