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◆加熱工程・ホットプレート
○ホットプレート ○小型加熱ステージ ○窒素パージ、真空、ウエハホットチャック ○加熱装置・組込用、ハロゲンランプ加熱 ○冷却関連・ペルチェ ○温度制御 ○予熱プレート ほか