荒川化学工業の製品・サービス一覧

『パインアルファ ST-890R』は、エポキシ系、アクリル系接着剤など、 一般的な溶剤では除去、剥離が困難な樹脂汚れに対して 、極めて高い洗浄効果を発揮します。 REACH規制非該当であるため、NMP （1 メチル 2 ピロリドン ）などの溶剤の代替品として好適です。 また、非危険物（非引火性） であるため環境 、安全面 で優れ安心してご利用頂けます。 各種電子部品の製造工程、治工具の洗浄などに利用可能です。 【特長】 ○洗浄性 　独自の配合技術によりエポキシ、アクリル等のポリマーに対する、膨潤・溶解作用を高め、難溶性樹脂に対しても非常に優れた洗浄効果を発揮します。 ○リンス性（すすぎ性） 　完全水溶性のため、リンス残りが起きません。 ○高安全性、優れた環境適性 　オゾン層破壊係数、地球温暖化係数 ゼロ 　消防法、有機溶剤中毒予防規則、水質汚濁防止法、大気汚染防止法 etcに該当しません。 　非危険物タイプの洗浄剤のため取扱いが容易です。

• 洗剤
• 化学薬品
• 洗剤

オゾン層破壊、地球温暖化に関する環境規制により、HCFC225は2020年に生産が全廃となります。 代替システムのご要望に対し当社は、洗浄性、乾燥性に優れ、初期コストを抑えた廉価な洗浄システムをご提案致します。 電気を一切使用しない設備であるため、引火性液体であっても安全性を確保した洗浄システムです。 【特長】 ○洗浄性 　フローはんだフラックスの洗浄や加工由の脱脂洗浄に効果があります。 ○乾燥性 　室温で自然乾燥が可能。 ○低臭気 　臭気が非常に少なく、快適な作業環境を提供します。 ○廉価の洗浄装置 　小型、廉価な洗浄ユニットを２台使用。 　誰でも簡単に使えるユーザーフレンドリーな設計。 ○高安全性、優れた環境適性 　オゾン層破壊係数、地球温暖化係数 ゼロ 　電気を一切使用しない設備であるため、引火性液体であっても安全性を確保。 ○実験評価について 　導入検討に際し、実験評価対応も可能です。

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• 洗剤
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http://ma.imsys.jp/r/1109037?m=20720&c=00000000 　　◎洗浄学習塾 　　　・知っているようで知らない”洗浄”のメカニズムや体系、特徴などを分かり易く 　　　　解説しています。 　　　・実際の生産現場で起こりうる、洗浄不良モード・対策等についても掲載予定です。 　　 　　◎洗浄システム選定お助けツール 　　　・短い設問にお答え頂くだけでお客様に適した洗浄システムをご案内致します。 　　　・導入検討のヒントとして是非ご利用下さい。 　 　　◎洗浄導入事例集 　　　・基板洗浄、カメラモジュール等、各分野での実際の導入事例をご紹介し、 　　　　導入時のポイントや最新製品情報も掲載しております。 　　◎洗浄実験依頼書 　　　・具体検討をお考えのお客様に対しては、HPより依頼書フォームをダウンロード頂き、 　　　　必要情報をご記入のうえ、弊社 大阪研究所での洗浄テスト対応も可能です。 　　 　　◎洗浄Ｑ＆Ａ 　　　・お客様からよく寄せられるご質問など記載しておりますので、ご参考ください。

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• 洗剤
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『CC-G20』はUVと熱で硬化する絶縁・防湿用コンフォーマルコーティング剤です。シリンジタイプな為、ジェット塗布機を使用した精密塗布が可能。非危険物、低臭気なので貯蔵・取扱が容易です。更に、VOCフリーなので環境への負荷を低減できます。 【特長】 ■ジェット塗布対応のため高速且つ精密に塗布が可能 ■UV /熱硬化型、優れた柔軟性 ■ エポキシ樹脂使用 ■標準硬化条件 1000mJ / cm2以上　130℃、10分。 ■乳白色の液体 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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• その他高分子材料
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『A-55』はUVと湿気で硬化する絶縁・防湿用コンフォーマルコーティング剤です。シリンジタイプな為、ジェット塗布機を使用した精密塗布が可能。非危険物、低臭気なので貯蔵・取扱が容易です。更に、VOCフリーなので環境への負荷を低減できます。 【特長】 ■ジェット塗布対応のため高速且つ精密に塗布が可能 ■UV /湿気硬化タイプ　フッ素を含まない ■アクリル樹脂使用 ■透明な液体 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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パインアルファ　コ・ソルベント洗浄システムは、Flux洗浄工程とパーティクル洗浄工程を同一工程で処理する事が可能です。各工程を別々で実施している場合に比べて開発コストの低減やランニングコストが低減でき、生産の合理化に繋がります。 [特長] ■イニシャルコスト、開発コスト低減 　・通常２台必要な洗浄装置が１台で２工程処理可能。 ■排水レス 　・準水系洗浄剤を利用するFlux洗浄工程では悩みのタネだった水リンス工程がないので、排水コスト、管理の手間が省けます。

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【コンフォーマルコーティング剤CC-G20の特徴について】 ■UVと熱で硬化する絶縁・防湿用コンフォーマルコーティング剤です。 ■シリンジタイプなのでジェット塗布機を使用した精密塗布が可能です。 ■非危険物、低臭気なので貯蔵・取扱が容易です。 ■VOCフリーなので環境への負荷を低減できます。

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【コンフォーマルコーティング剤A-55の特徴について】 ■UVと湿気で硬化する絶縁・防湿用コンフォーマルコーティング剤です。 ■シリンジタイプなのでジェット塗布機を使用した精密塗布が可能です。 ■非危険物、低臭気なので貯蔵・取扱が容易です。 ■VOCフリーなので環境への負荷を低減できます。

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『パインアルファ ST-560EVA』は、パインアルファ専用のリンス剤です。 蒸留再生リサイクルによりリンス廃液を大幅低減します。 各種フラックス洗浄剤と併用することが可能です。 【特長】 ○低ランニングコスト 　蒸留再生リサイクルによりリンス廃液量を約９割低減します！ 　また、引火点が無いため防爆設備不要、イニシャルコストの低減にも寄与します。 ○高乾燥性 　一般的なアルコールリンス剤よりも優れ、純水より約２倍の優れた乾燥性を示します。　 ○高安全性、優れた環境適性 　オゾン層破壊係数、地球温暖化係数 ゼロ 　消防法、有機溶剤中毒予防規則、PRTR法、水質汚濁防止法、大気汚染防止法 etcに該当せず安全にご使用頂けます。 ○部材への影響 　各種素材にアタックしないマイルドな洗浄剤です。 ○最適な洗浄システム 　お客様ニーズに併せ、洗浄装置を含む、洗浄システム、トータルソリューションをご提案します！

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• 化学薬品
• 洗剤

『パインアルファ ST-350VF』は、高い洗浄性と低臭気を兼ね備えた地球にやさしいフローパレット用のフラックス洗浄剤です。 洗浄～乾燥まで一液で可能なノンリンスタイプです。 パレット洗浄の品質向上、自動化に貢献いたします。 【特長】 ○洗浄性 　フラックスメーカーだから可能な洗浄剤技術により優れたフラックス洗浄性を発揮します！ ○低ランニングコスト 　鉛フリーはんだフラックスの洗浄力を強化されＩＰＡ等の低級アルコールより約３倍の長寿命を達成します。 ○優れた環境適性 　オゾン層破壊係数 ゼロ、VOC物質（大気汚染防止法 収載リスト）非含有 　有機溶剤中毒予防規則、PRTR法、水質汚濁防止法、大気汚染防止法 etcに該当しません。 ○部材への影響 　化学的中性のため各種素材にアタックしないマイルドな洗浄剤です。 ○最適な洗浄システム 　お客様ニーズに併せ、洗浄装置を含む、洗浄システム、トータルソリューションをご提案します！ 　１槽式超小型洗浄機もご紹介いたします。

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『パインアルファ ST-252EVA』は、蒸留再生リサイクルにより廃水量を究極まで低減、安全性を兼ね備えたニュータイプ、一液型フラックス洗浄剤です！ 塩素系、臭素系、フッ素系有機溶剤の代替洗浄剤としてご利用頂けます。 【特長】 ○洗浄性 　フラックスメーカーだから可能な洗浄剤技術により優れたフラックス洗浄性を発揮します！ ○低ランニングコスト 　一液で洗浄～リンス～乾燥まで可能。 　蒸留再生リサイクルにより消費量、廃水を究極まで低減。 ○高安全性、優れた環境適性 　オゾン層破壊係数、地球温暖化係数 ゼロ 　消防法、有機溶剤中毒予防規則、PRTR法、水質汚濁防止法、大気汚染防止法 etcに該当しません。 　非危険物タイプの洗浄剤のため取扱いが容易です。 　塩素系、臭素系、フッ素系有機溶剤の代替洗浄剤としてご利用頂けます。 ○部材への影響 　各種素材にアタックしないマイルドな洗浄剤です。 ○最適な洗浄システム 　お客様ニーズに併せ、洗浄装置を含む、洗浄システム、トータルソリューションをご提案します！

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『パインアルファ ST-100CA』は、高い洗浄性と安全性を兼ね備えた地球にやさしい脱脂洗浄剤です。 各種精密金属部品の、切削、研削加工油の脱脂洗浄に利用できます。 鉱物油系、水溶性加工油、いずれにも適用可能です。 【特長】 ○洗浄性 　強力な洗浄力を持っていますので、各種汚れの除去に幅広く使用できます。 　ハロゲン系溶媒と同様に汚れを溶解除去しますので、精密洗浄に最適です。 ○高安全性、優れた環境適性 　オゾン層破壊係数、地球温暖化係数 ゼロ 　消防法、有機溶剤中毒予防規則、水質汚濁防止法、大気汚染防止法 etcに該当しません。 　非危険物タイプの洗浄剤のため取扱いが容易です。 ○部材への影響 　各種素材にアタックしないマイルドな洗浄剤です。 　中性ですので、素材への影響を心配することなく使用できます。 ○最適な洗浄システム 　お客様ニーズに併せ、洗浄装置を含む、洗浄システム、トータルソリューションをご提案します！

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『パインアルファ ST-231』は、高い洗浄性と安全性を兼ね備えた地球にやさしいフラックス洗浄剤です。 水溶性フラックスの洗浄に特化した商品です。 各種 プリント基板、半導体パッケージ、のフラックス洗浄に最適です。 【特長】 ○洗浄性 　フラックスメーカーだから可能な洗浄剤技術により優れたフラックス洗浄性を発揮します！ ○高安全性、優れた環境適性 　オゾン層破壊係数、地球温暖化係数 ゼロ 　消防法、有機溶剤中毒予防規則、PRTR法、水質汚濁防止法、大気汚染防止法 etcに該当しません。 　非危険物タイプの洗浄剤のため取扱いが容易です。 ○低ランニングコスト 　純水20倍希釈で洗浄性を発揮するためランニングコストを大きく低減します！ ○部材への影響 　各種素材にアタックしないマイルドな洗浄剤です。 ○最適な洗浄システム 　お客様ニーズに併せ、洗浄装置を含む、洗浄システム、トータルソリューションをご提案します！

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• 化学薬品
• 洗剤

『パインアルファ ST-180K』は、高い洗浄性と安全性を兼ね備えた地球にやさしいフラックス洗浄剤です。 鉛フリーはんだフラックスの洗浄ではスタンダード商品です。 各種 プリント基板、半導体パッケージ、のフラックス洗浄に適しています。 【特長】 ○洗浄性 　フラックスメーカーだから可能な洗浄剤技術により優れたフラックス洗浄性を発揮します！ ○長寿命、低ランニングコスト 　鉛フリーはんだフラックスの洗浄、リンス性能が強化され、液交換の頻度が低減、ランニングコスト低減に寄与します。 ○高安全性、優れた環境適性 　オゾン層破壊係数、地球温暖化係数 ゼロ 　消防法、有機溶剤中毒予防規則、PRTR法、水質汚濁防止法、大気汚染防止法 etcに該当しません。 　非危険物タイプの洗浄剤のため取扱いが容易です。 ○部材への影響 　各種素材にアタックしないマイルドな洗浄剤です。 ○最適な洗浄システム 　お客様ニーズに併せ、洗浄装置を含む、洗浄システム、トータルソリューションをご提案します！

• その他洗浄機
• 洗剤
• 化学薬品

『パインアルファ ST-100SX』は、高い洗浄性と安全性を兼ね備えた環境配慮型フラックス洗浄剤です。 業界で広く採用頂いているロングセラー商品で、各種 プリント基板、半導体パッケージ、のフラックス洗浄に適しています。 【特長】 ○洗浄性 　フラックスメーカーだから可能な洗浄剤技術により優れたフラックス洗浄性を発揮します！ ○リンス性（すすぎ性） 　完全水溶性のため高いリンス性を有し、リンス残りが起きません。 ○高安全性、優れた環境適性 　オゾン層破壊係数、地球温暖化係数 ゼロ 　消防法、有機溶剤中毒予防規則、水質汚濁防止法、大気汚染防止法 etcに該当しません。 　非危険物タイプの洗浄剤のため取扱いが容易です。 ○部材への影響 　各種素材にアタックしないマイルドな洗浄剤です。 ○洗浄システム 　お客様ニーズに併せ、洗浄装置を含む、洗浄システム、トータルソリューションをご提案します！

• 洗剤
• 化学薬品
• 洗剤

ダイレクトフォールズ洗浄機は電子基板用のフラックス洗浄装置です。 特殊なシャワー方式により狭ギャップの洗浄を短時間に可能です。 大手電子基板メーカー様に多数採用頂いております。 フリップチップパッケージ、大型基板、等のフラックス洗浄に最適です。 【特長】 ○洗浄性 　特殊なシャワー方式より狭隙間の洗浄も可能です。 　20μｍの狭ギャップフリップチップを10秒で洗浄！ ○オートメーション化 　インライン方式にも対応し前後プロセスのためオートメーション化に貢献します。 ○大型基板にも対応 　500mmを超える大型基板にも対応！ ○高スループット 　インライン方式対応のため高い生産性を実現します。 ○ワークへのダメージを低減 　従来のシャワー方式に比べワークへかかる負荷（応力）を著しく低減。 　当社比、１／１０に低減！ ○最適な洗浄システム 　各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！

• その他半導体製造装置

液中ジェット洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。 ワークへの負荷を抑え、ジェット噴流による高い洗浄効果が得られます。 大手半導体、電子部品メーカー様に多数採用頂いております。 インターポーザー、ハイブリットIC、パワーデバイス、etc 等の各種電子部品のフラックス洗浄に最適です。 【特長】 ○洗浄性 　ジェット噴流により効果的案洗浄が可能！ 　独自の整流機構によりムラ無く洗浄可能！ ○低ランニングコスト 　液切り肯定を設けることで洗浄剤消費量を低減。 ○最適な洗浄システム 　各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！

• その他半導体製造装置
• その他洗浄機
• 高圧洗浄機

『XFP-1』は、大気雰囲気下における実装が可能な完全ハロゲンフリー 鉛フリーソルダペーストです。 高い絶縁性を有し、継ぎ足しで一週間使用してもほぼ粘度変化がありません。 【特長】 ■完全ハロゲンフリー ■鉛フリー ■大気雰囲気下における実装が可能 ■高い絶縁性 ■連続使用性良好 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• はんだ
• その他

『XFP LF138』は、ガラス系から紙フェノールへの変更で大幅コストダウンを 実現する低融点ハロゲンフリー鉛フリーソルダペーストです。 手挿入、ディップを無くして一括リフロー。 工程の大幅合理化で、省エネおよびCO2の削減に貢献します。 【特長】 ■完全ハロゲンフリー ■鉛フリー ■大幅コストダウン ■ディップを無くして一括リフロー ■工程の大幅合理化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• はんだ
• その他

『VAPY-F LF219』は、高い絶縁信頼性を持つファインピッチ対応の高度汎用 鉛フリーソルダペーストです。 350μmピッチQFPや0603以下のチップ部品など、ファインピッチパターン印刷に 優れます。また、微粉末タイプペーストに起こりやすい、急速加熱時のダレや はんだボールを抑制。 微粉末、含ハロゲンにも関わらず、高い絶縁信頼性を誇ります。 【特長】 ■高度汎用 ■鉛フリー ■ファインピッチパターン印刷に優れる ■急速加熱時のダレやはんだボールを抑制 ■微粉末、含ハロゲンにも関わらず、高い絶縁信頼性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• はんだ
• その他

『PSP-V』は、残渣割れ耐性に優れた車載用の鉛フリーソルダペーストです。 はんだ付け特性が良好で、連続印刷12時間後でもほぼ粘度変化がありません。 【特長】 ■車載用 ■鉛フリー ■残渣割れ耐性に優れる ■濡れ上がり、印刷性、はんだボール抑制 ■連続使用性良好 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• はんだ
• その他

『PSP-F』は、優れた保存（粘度)安定性を持つファインピッチ用のハロゲンフリー 鉛フリーソルダペーストです。 0402部品でのチップ立ち抑制が可能で、連続印刷16時間後でも ほぼ粘度変化がありません。 【特長】 ■ファインピッチ用 ■ハロゲンフリー ■鉛フリー ■優れた保存（粘度)安定性 ■連続使用性良好 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• はんだ
• その他

『VAPY-LF219』は、大気雰囲気下にて広範囲のリフローマージンに適応可能なソルダペーストです。 ハロゲン添加にもかかわらず優れた保存安定性で、1ヶ月常温保管が可能。 優れたボイド・サイドボール性能を有します。 【特長】 ■鉛フリー ■広範囲のリフローマージンに適応可能 ■優れた保存安定性 ■1ヶ月常温保管が可能 ■優れたボイド・サイドボール性能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• はんだ
• その他

『GSP』は、ユニットメーカー3社（トヨタ自動車殿、デンソー殿、富士通テン殿） とはんだメーカー（荒川化学、他）との共同開発品です。 高い絶縁性（初期値：≧109Ω）と残さ割れ耐性、濡れ上がり良好、 はんだボール抑制、低ボイドとはんだ付け特性に優れます。 さらに、連続ローリング4時間後も初期特性を維持することが可能です。 【特長】 ■車載用 ■鉛フリー ■信頼性に優れる ■はんだ付け特性に優れる ■連続ローリング4時間後も初期特性を維持 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• はんだ
• その他

『WHD-003HF』は、ハロゲンフリー品でありながら、ハロゲン入りの従来品 同等のはんだ付け性を実現した高温はんだ対応端末端子用ポストフラックスです。 耐熱性の高分子ポリマーの効果により、絶縁膜の付着を抑制。 430℃の高温でのDIPはんだ付け後でも、飛散によるはんだボールは殆どありません。 【特長】 ■高温はんだ対応 ■端末端子用 ■ハロゲンフリー ■ハロゲン入り従来品同等のはんだ付け性を実現 ■はんだ付け後の絶縁膜の付着を抑制 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 洗浄剤
• はんだ
• その他

『WHP-002』は、ピン転写に適した物性を有する電子部品搭載用 転写フラックスです。 ロジン系樹脂をベースとし、完全ハロゲンフリーなうえ 非腐食性で高信頼性を実現しました。 【特長】 ■電子部品搭載用 ■ロジン系樹脂ベース ■完全ハロゲンフリー ■非腐食性で高信頼性を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 洗浄剤
• その他

『WHS-003C』は、フローソルダリング用鉛フリー対応のポストフラックスです。 ロジン技術による優れた外観、濡れ性、耐ブリッジ性、耐熱性の高いロジンを 使用しているため、さまざまなフロープロファイルに対応。 Sn/3.0Ag/0.5Cuはもちろん、低Ag・無Ag系合金に対しても良好な濡れ性を確保します。 【特長】 ■フローソルダリング用 ■鉛フリー対応 ■優れた外観、濡れ性、耐ブリッジ性、耐熱性 ■さまざまなフロープロファイルに対応 ■優れた基板仕上がり、フロー実装性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 洗浄剤
• その他

『WMS-001』は、フローソルダリング用鉛フリー対応のポストフラックスです。 当社独自の淡色ロジンを使用しているため、きれいな仕上がりを実現。 ロジンと活性剤の最適化により、優れた濡れ性、耐ブリッジ性を確保。 さらにSn/3.0Ag/0.5Cuはもちろん、低Ag、無Ag系合金に対しても 良好な濡れ性を確保します。 【特長】 ■フローソルダリング用 ■鉛フリー対応 ■当社独自の淡色ロジン使用 ■ロジンと活性剤の最適化 ■優れた基板仕上がり、耐ブリッジ性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 洗浄剤
• その他

『パインアルファシリーズ』は、半導体、電子部品、電子基板用のフラックス洗浄です。 フラックス・油脂等に対する高い溶解除去能力はもちろんのこと、すすぎ性や分散性にも優れているため、汚れの再付着を防止します。 また、溶解性すすぎ性劣化が少なく長寿命な上、RoHS規制、REACH規制等をクリアし、環境・人体にも優しい製品です。 【特長】 ■高い洗浄性 ■安全性 ■優れたすすぎ性 ■長い液寿命 ■分散性 ■変色防止 ★サンプル配布も可能です。ご希望の方は、下記「お問い合わせ」より お申し込み下さい。 ◎詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 洗剤

GPSは、車載用でありながら、優れて印刷性を示します。また、狭いギャップでの印刷性も優れ、ローリング後も変化は見られません。厳しいリフロー条件（低温プロファイル）でもQFPのぬれ上がり特性、ボイド特性、ハンダボール性において、当社従来品と比較して大変良好な特性を示しています。

• はんだ

フラックス飛散防止で濡れ性に優れたはんだ

• はんだ

低銀、無銀はんだで優れたスルーホール上がり

• はんだ

ダイレクトパス洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。 強制液流により洗い辛い狭い隙間の汚れを効果的に洗浄可能です。 研究開発、実験、少量生産に最適な小型機です！ 【特長】 ○洗浄性、乾燥性 　特殊な液流により狭隙間、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾燥に優れた威力を発揮します！ 　純粋再生ユニットPINE RECを用いることで廃水も低減。 ○コンパクト 　３層式とし装置幅を抑えコンパクトに設計 　標準仕様にて安価に製作 ○最適な洗浄システム 　各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！

• その他洗浄機

ダイレクトパス洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。 強制液流により洗い辛い狭い隙間の汚れを効果的に洗浄可能です。 大手半導体、電子部品メーカー様に多数採用頂いております。 数10μｍの狭ギャップのフリップチップパッケージ、カメラモジュール 等の各種電子部品のフラックス洗浄に最適です。 【特長】 ○洗浄性、乾燥性 　特殊な液流により狭隙間、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾燥に優れた威力を発揮します！ ○高スループット 　洗浄物多くを充填する事で洗浄・乾燥効率が向上し、一般的な方式の２倍の高スループットを実現します！ ○低ランニングコスト 　効率的な液切りにより、洗浄剤消費量を１／３に低減！ ○最適な洗浄システム 　各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！

• その他半導体製造装置